Les plaquettes de silicium à haute résistivité (HR-Si), comme son nom l'indique, sont un matériau de silicium monocristallin doté d'une résistivité extrêmement élevée. Dans le domaine de la fabrication avancée de semi-conducteurs, la perte haute fréquence est devenue un défi majeur dans la conceptio......
En savoir plusLa bague de focalisation, également appelée bague de compensation ou bague de confinement, est un composant indispensable des équipements de gravure, en particulier des équipements de gravure sèche au plasma. Sans cela, les processus de gravure de précision à l’échelle nanométrique dans la fabricati......
En savoir plusEn régulant avec précision les profils de chauffage et de refroidissement, le processus de recuit peut activer les atomes dopants, réparer les dommages au réseau, soulager les contraintes internes et améliorer la fiabilité électrique des tranches. Ces améliorations critiques des performances constit......
En savoir plusLes mandrins à vide en céramique sont des outils utilisés pour serrer et transporter des tranches de semi-conducteurs dans la fabrication de tranches de semi-conducteurs. Ils présentent une planéité et un parallélisme élevés, une structure dense et uniforme, une résistance élevée, une bonne perméabi......
En savoir plusL'objectif principal est d'obtenir l'uniformité de la température de surface de la tranche (≤ ± 0,5–5 ℃) et la stabilité du champ température/écoulement, améliorant ainsi l'uniformité de l'épaisseur de la couche épitaxiale (<3%), doping uniformity (<8%), reducing defect density, and increasing growt......
En savoir plusLes composites C/C possèdent de nombreuses excellentes propriétés et sont actuellement les seuls matériaux composites capables de fonctionner à des températures élevées supérieures à 2 600 °C dans des atmosphères inertes, ce qui les rend largement applicables dans les industries aérospatiale, milita......
En savoir plus