Dans le processus frontal (FEOL) de la fabrication de semi-conducteurs, la plaquette doit être soumise à divers traitements de processus, en particulier la plaquette doit être chauffée à une certaine température, et il y a des exigences strictes, car l'uniformité de la température a un impact très i......
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En savoir plusEn tant que matériau de base des semi-conducteurs de troisième génération, le carbure de silicium (SIC) joue un rôle de plus en plus important dans les champs de haute technologie tels que les nouveaux véhicules énergétiques, le stockage d'énergie photovoltaïque et les communications 5G en raison de......
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