Le nitrure de silicium (Si₃N₄) est un matériau céramique structurel avec une conductivité thermique intrinsèque d'environ 320 W/(m·K), présentant une conductivité thermique élevée et des propriétés mécaniques exceptionnelles. Grâce à sa stabilité supérieure à température ambiante, Si₃N₄ est devenu u......
En savoir plusDans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs haut de gamme, les films SiO₂ sont généralement formés via des processus d'oxydation pour le traitement de surface du substrat, et leurs applications courantes incluent les couches barrières dopantes, les couches d'isolation de surface, les couches......
En savoir plusAvec les progrès de la technologie, les produits intelligents tels que les téléphones mobiles, les ordinateurs, les véhicules électriques et les robots sont désormais intégrés dans la vie des gens. Ces produits contiennent un grand nombre de puces semi-conductrices et leur fabrication nécessite des ......
En savoir plusLes plaquettes de silicium à haute résistivité (HR-Si), comme son nom l'indique, sont un matériau de silicium monocristallin doté d'une résistivité extrêmement élevée. Dans le domaine de la fabrication avancée de semi-conducteurs, la perte haute fréquence est devenue un défi majeur dans la conceptio......
En savoir plusLa bague de focalisation, également appelée bague de compensation ou bague de confinement, est un composant indispensable des équipements de gravure, en particulier des équipements de gravure sèche au plasma. Sans cela, les processus de gravure de précision à l’échelle nanométrique dans la fabricati......
En savoir plusEn régulant avec précision les profils de chauffage et de refroidissement, le processus de recuit peut activer les atomes dopants, réparer les dommages au réseau, soulager les contraintes internes et améliorer la fiabilité électrique des tranches. Ces améliorations critiques des performances constit......
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