Céramique poreuse de carbure de tantale

La céramique poreuse de carbure de tantale Semicorex est un matériau céramique à ultra haute température avec un point de fusion autour de 3880 ℃, qui peut maintenir des performances stables dans les environnements de fonctionnement difficiles à haute température et à haute corrosion grâce aux excellentes caractéristiques de performance suivantes.

1. Superbe propriété thermale

La température de travail maximale du Semicorex poreuxcéramique de carbure de tantalepeut atteindre 3 200 ℃ et peut fonctionner de manière stable dans des conditions de croissance de cristaux de carbure de silicium à haute température pendant une longue période sans aucune déformation ni ramollissement.

2. Stabilité chimique exceptionnelle

La céramique poreuse de carbure de tantale Semicorex présente une meilleure résistance à la corrosion et à l'oxydation que la céramique conventionnelle. Il peut résister efficacement à la corrosion de l'oxygène à haute température et de la vapeur de Si lors du processus de croissance cristalline.

3. Structure poreuse spéciale

La céramique poreuse en carbure de tantale Semicorex présente des pores internes uniformément répartis, avec une porosité comprise entre 10 et 60 % (personnalisable) et un taux de passage à travers les pores de plus de 98 %. Cette structure spéciale permet aux éléments en phase vapeur comme le Si et le C de circuler et de se diffuser en douceur à l'intérieur du four de croissance cristalline, facilitant grandement la croissance de cristaux de haute qualité.

Application à la croissance de cristaux de carbure de silicium

Au cours de la croissance des cristaux de carbure de silicium via le procédé PVT, la céramique poreuse de carbure de tantale Semicorex fonctionne principalement dans la filtration des éléments en phase vapeur, la régulation du gradient de température du four et le guidage du flux de matières gazeuses. Différente des matériaux graphites poreux classiques à revêtement TaC, la céramique poreuse au carbure de tantale Semicorex présente des avantages distincts : elle élimine lesGraphite recouvert de TaCL'inconvénient des matériaux est un faible taux de passage des pores causé par le traitement du revêtement, tout en évitant le problème du pelage du revêtement rencontré en service dans les matériaux poreux en graphite revêtus de TaC. En utilisant la céramique poreuse de carbure de tantale Semicorex, vous pouvez inhiber efficacement les défauts d'inclusion de carbone dans la croissance des cristaux de carbure de silicium, améliorant ainsi considérablement la qualité de la croissance cristalline et le rendement du produit.