Produits

Les creusets en graphite Semicorex en trois parties sont des conteneurs en graphite fendu haute performance spécialement conçus pour les processus de croissance du silicium monocristallin. Idéal pour le traitement thermique des semi-conducteurs haut de gamme, le creuset en graphite en trois parties Semicorex peut supporter de manière fiable le creuset en quartz et ses matériaux internes pour obtenir la croissance contrôlée des structures monocristallines.

Les tubes de four en carbure de silicium Semicorex sont des composants SiC haute performance spécialement conçus pour les processus frontaux à haute température dans l'industrie avancée des semi-conducteurs. Grâce à leurs performances exceptionnelles, les tubes de four en carbure de silicium Semicorex peuvent résister aux environnements de fonctionnement difficiles avec des températures extrêmes, des gaz corrosifs et des fluctuations thermiques drastiques.

Les bateaux à plaquettes à revêtement SiC Semicorex CVD sont des outils de transport en céramique de haute précision fabriqués en carbure de silicium de très haute pureté, offrant une fiabilité élevée, une excellente propreté et une durée de vie prolongée. Constituant la solution idéale pour le traitement thermique des plaquettes, les bateaux à plaquettes Semicorex CVD à revêtement SiC peuvent permettre un positionnement sûr et stable des plaquettes pendant les étapes de transfert et de traitement.

L'anneau de mise à la terre de l'électrode supérieure Semicorex est un composant de contrôle du plasma CVD SiC de très haute pureté qui stabilise le potentiel électrique et prend en charge une distribution uniforme du plasma dans les systèmes avancés de gravure et de dépôt de semi-conducteurs. Semicorex fournit des anneaux de mise à la terre de précision CVD SiC et des composants semi-conducteurs orientés plasma dans le monde entier, offrant des dimensions personnalisées, des propriétés électriques et une livraison mondiale fiable pour les principaux fabricants d'équipements semi-conducteurs.*

Semicorex Etching Edge Ring est un composant CVD SiC face au plasma de haute pureté qui contrôle la distribution du plasma autour du bord de la tranche, améliorant ainsi l'uniformité de la gravure, la précision du processus et les performances globales de fabrication des semi-conducteurs. Semicorex fournit des bagues de mise au point CVD SiC avancées, des bagues de mise à la terre, des pommes de douche et des composants de contrôle plasma personnalisés aux fabricants de semi-conducteurs du monde entier, soutenus par une ingénierie de précision et un approvisionnement mondial fiable.*

Les réservoirs de nettoyage de plaquettes de quartz Semicorex, fabriqués avec précision à partir de matériaux de quartz de haute pureté, sont les composants indispensables spécialement conçus pour le nettoyage humide des plaquettes dans la fabrication de semi-conducteurs haut de gamme. En tant que société leader du secteur en Chine, Semicorex s'efforce de fournir à ses clients des solutions de quartz stables, performantes et rentables.