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Mandrins à vide en céramique SiC
Les mandrins à vide en céramique Semicorex SiC sont des dispositifs d'adsorption sous vide de précision fabriqués à partir de céramique de carbure de silicium, qui permettent aux plaquettes semi-conductrices d'être positionnées de manière précise et stable dans des positions spécifiques pendant le traitement et l'inspection. L'utilisation de mandrins à vide en céramique Semicorex SiC peut contribuer à améliorer les rendements de fabrication de semi-conducteurs, à améliorer les performances des dispositifs à semi-conducteurs et à réduire les coûts globaux de fabrication.
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Radiateurs en graphite
Les radiateurs en graphite Semicorex sont des éléments chauffants résistifs conçus avec précision pour les exigences d'ultra-haute pureté et de haute température des fours à semi-conducteurs, spécifiquement optimisés pour les processus de croissance cristalline MOCVD, CVD et SiC. Le partenariat avec Semicorex vous offre des solutions de chauffage sur mesure qui combinent un graphite isostatique supérieur avec des technologies de revêtement avancées, garantissant une uniformité thermique de pointe, des performances sans contamination et un coût total de possession (TCO) nettement inférieur.*
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Anneaux poreux en carbure de tantale
Les anneaux poreux en carbure de tantale Semicorex sont des composants réfractaires hautes performances spécialement conçus pour le processus de transport physique de vapeur (PVT) de croissance cristalline de carbure de silicium (SiC), dotés d'une structure frittée monolithique qui offre une stabilité thermique exceptionnelle et une perméabilité aux gaz contrôlée.*
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Supports de plaquettes RTA SiC
Les supports de plaquettes Semicorex RTA SiC sont les outils de transport de plaquettes essentiels, spécialement conçus pour le processus de recuit thermique rapide dans la fabrication de semi-conducteurs. Les supports de tranches Semicorex RTA SiC constituent la solution optimale pour un processus de recuit thermique rapide, qui peut contribuer à améliorer les rendements de fabrication des semi-conducteurs et à améliorer les performances des dispositifs à semi-conducteurs.
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Suscepteurs de plaquettes de graphite à revêtement TaC
Les suscepteurs de tranches de graphite à revêtement Semicorex TaC sont les composants de pointe généralement utilisés pour soutenir et positionner de manière stable les tranches de semi-conducteurs pendant les processus épitaxiaux avancés de semi-conducteurs. Tirant parti de technologies de production de pointe et d'une expérience de fabrication mature, Semicorex s'engage à fournir à nos précieux clients des suscepteurs de tranches de graphite à revêtement TaC conçus sur mesure avec une qualité de pointe sur le marché.
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Suscepteurs à revêtement CVD TaC
Les suscepteurs Semicorex CVD TaC sont des suscepteurs en graphite haute performance avec un revêtement TaC dense, conçus pour offrir une excellente uniformité thermique et une excellente résistance à la corrosion pour les processus exigeants de croissance épitaxiale SiC. Semicorex combine une technologie avancée de revêtement CVD avec un contrôle qualité strict pour fournir des suscepteurs durables et à faible contamination auxquels font confiance les fabricants mondiaux de SiC epi.*
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