Produits

Les bateaux à plaquettes à revêtement SiC Semicorex CVD sont des outils de transport en céramique de haute précision fabriqués en carbure de silicium de très haute pureté, offrant une fiabilité élevée, une excellente propreté et une durée de vie prolongée. Constituant la solution idéale pour le traitement thermique des plaquettes, les bateaux à plaquettes Semicorex CVD à revêtement SiC peuvent permettre un positionnement sûr et stable des plaquettes pendant les étapes de transfert et de traitement.

Semicorex CVD SiC Fin est un composant en carbure de silicium solide épais et de haute densité fabriqué par dépôt chimique en phase vapeur, conçu pour les applications de semi-conducteurs face au plasma et à ultra haute température nécessitant une pureté, une durabilité et une résistance à la corrosion exceptionnelles. Semicorex fournit des composants CVD avancés en carbure de silicium aux fabricants d'équipements semi-conducteurs du monde entier, fournissant des solutions personnalisées, une ingénierie de précision et une livraison mondiale fiable pour les environnements de processus les plus exigeants.*

La plaque de distribution de gaz Semicorex SiC est une pomme de douche en graphite à revêtement CVD SiC de précision conçue pour fournir une distribution uniforme du gaz, une résistance supérieure à la corrosion et un contrôle de la contamination dans les systèmes d'épitaxie de semi-conducteurs à haute température. Semicorex fournit des composants avancés en graphite à revêtement SiC aux fabricants de semi-conducteurs du monde entier, proposant des conceptions personnalisées, des matériaux d'ultra haute pureté et une livraison mondiale fiable pour les plates-formes de traitement de tranches de 8 pouces, 12 pouces et de nouvelle génération.*

Fabriqués à partir de céramiques de carbure de silicium de qualité supérieure, les tubes d'échangeur de chaleur Semicorex SiC sont conçus pour une conduction et un échange thermique à haut rendement. Avec une excellente conductivité thermique, une résistance aux températures élevées, une résistance à la corrosion et une résistance mécanique, les tubes d'échangeur de chaleur Semicorex SiC sont les pièces essentielles indispensables appliquées dans l'échangeur de chaleur à calandre et tubes.

Les tubes d'échange de chaleur Semicorex SiC sont des composants tubulaires hautes performances en céramique de carbure de silicium, servant de parties centrales des échangeurs de chaleur à calandre et tubes. Tirant parti des excellentes propriétés des céramiques de carbure de silicium, les tubes d'échange thermique Semicorex SiC sont bien adaptés aux environnements exigeants, notamment les hautes températures, les hautes pressions, la forte corrosion chimique, l'impact des gaz à grande vitesse et l'usure des particules.

Les roulements à billes en céramique Semicorex SiC sont des roulements en céramique haute performance, avec des billes en céramique et des chemins de roulement fabriqués avec précision en céramique de carbure de silicium. Les roulements à billes en céramique Semicorex SiC sont le choix idéal pour les applications nécessitant une vitesse de rotation élevée et des performances fiables dans des environnements difficiles à haute température et très corrosifs.