Réservoir de rangement liquide en quartz

Le réservoir de stockage de liquide semi-orecorex est un récipient à but conçu pour les applications de nettoyage humide semi-conductrices où la manipulation du liquide nécessite un niveau extraordinaire de propreté et de stabilité des matériaux. Principalement, ce réservoir est utilisé pour collecter des déchets ou des liquides résiduels des applications de nettoyage des plaquettes. Il est inestimable pour la productivité des processus et le contrôle de la contamination. Au cours d'un processus de propreté humide, le rinçage à la plaquette semi-conducteur implique de grands volumes d'eau ultrapure ou de réactifs chimiques qui deviennent des déchets liquides à la fin du rinçage. De plus, un liquide résiduel après le rinçage doit être collecté car il a des impuretés de traces potentielles, ou des constituants chimiques précieux qui ne doivent pas baisser. Le liquide déchet doit également être collecté lorsque des étapes de revêtement sont effectuées telles que les applications de photorésistaire, où des résidus supplémentaires ou des produits chimiques déchets doivent être collectés. Ainsi, le réservoir de stockage liquide en quartz a les livrables parfaits pour fournir une pureté de haute pureté, une compatibilité chimique et des propriétés à faible contaminants.

Le réservoir est fait de quartz fusionné de haute pureté qui est très résistant aux acides forts, aux alcalis et aux solvants régulièrement utilisés dans le nettoyage et la lithographie des semi-conducteurs. Qu'il s'agisse d'un récipient conventionnel, le quartz donne aux pièces le matériau liquide les meilleures chances de ne pas exposition aux contaminants secondaires, lixiviation ou exposition aux ions indésirables. L'un des principaux aspects du réservoir de stockage de liquide de quartz est la capacité de prendre en charge les flux de travail analytiques dans les FAB semi-conducteurs, car les liquides résiduels collectés dans un vaisseau de quartz peuvent être utilisés dans des processus en aval tels que la détection d'impureté, l'analyse de contamination et le recyclage chimique. Inhérente aux propriétés du quartz, il peut contenir en toute sécurité des fluides résiduels et permettre une évaluation visuelle sans risque d'interaction compte tenu de son inertie et de sa transparence, en plus de sa stabilité thermique, ce qui permet à tout liquide dans le réservoir d'être légèrement accéléré à toute température de processus sans risque de dégradation ou d'impact sur le liquide. Cela dit, le réservoir de stockage liquide en quartz est conçu pour la collecte des déchets et le stockage à court terme avant d'être transférés ou traités.

Chaque détail de la commande de contamination des processus est importante, d'autant plus que les nœuds de fabrication de dispositifs avancés diminuent et que les paramètres de propreté deviennent plus stricts. Le réservoir de stockage liquide de quartz garantit que les opérateurs FAB sont convaincus que la gestion des déchets ne devient pas une source de contamination secondaire. En contenant des solutions de nettoyage résiduelles ou des liquides de procédé en excès, il empêche les flux de travail en amont et en aval d'être valablement effectués. De plus, le réservoir soutient les objectifs de durabilité d'un FAB, car les liquides collectés peuvent être traités pour la purification et la réutilisation des réactifs, utilisant ainsi un autre processus moins intensif chimique et entraînant une charge globale moins environnementale.

D'un point de vue pratique, la conception du réservoir de stockage liquide en quartz lui permet d'être facilement incorporé dans le matériel de nettoyage humide et les systèmes de gestion des produits chimiques. Le facteur de formulaire peut être adapté aux configurations d'outils existantes. Les méthodes de fabrication de précision garantissent les dimensions rondes et que la surface intérieure lisse transportera et stockera facilement tous les liquides de votre environnement Fab semi-conducteur. Une structure de quartz non poreuse empêchera l'absorption des contaminants et permettra le nettoyage du réservoir, ce qui le rend capable de réutiliser, contrairement aux conteneurs en plastique conventionnels fonctionnant dans des environnements contrôlés chimiques à des opérations de volume importantes.

En fin de compte, le réservoir de stockage liquide en quartz est spécialement conçu pour l'importance dans toutes les applications de nettoyage et de revêtement humides de semi-conducteur. En créant la meilleure pureté du matériau possible, la résistance chimique et le stockage de liquide sans contamination dans une installation opérationnelle de semi-conducteurs, les FAB sont capables de contrôler efficacement leur processus avec peu ou pas de surdite de contamination. Que ce soit un FAB utilise le réservoir pour recevoir une collecte de déchets directs, pour la récupération d'un réactif, etc., ou pour l'analyse des impuretés, l'historique des étapes critiques du processus reste à l'état d'origine sans compromettre le fonctionnement. Lorsque vous cherchez à maximiser le rendement, à minimiser le risque pour votre processus de travail à la perte de stabilité et à maximiser l'efficacité de la gestion chimique des sous-produits, le quartz sans contamination est le seul choix qui offre des performances fiables avec tout votre nettoyage humide.