Réservoir de quartz pour traitement humide

Le réservoir de quartz pour traitement humide, fabriqué à partir de quartz de qualité semi-conducteur, offre une durabilité et une non-réactivité exceptionnelles à une variété de produits chimiques, notamment l'acide sulfurique (H2SO4), le peroxyde d'hydrogène (H2O2) et les solutions propres standard (SC1).

L'une des principales applications du réservoir de quartz pour le traitement par voie humide dans la fabrication de plaquettes est le nettoyage des plaquettes. Au cours de diverses étapes de fabrication, les tranches peuvent être masquées pour graver des pièces spécifiques ou pour confiner la diffusion à des zones désignées. Une fois qu'une étape particulière du processus est terminée, le matériau de masquage doit être soigneusement nettoyé pour préparer la tranche pour l'étape suivante. Le réservoir de quartz pour le traitement par voie humide joue un rôle crucial dans ce processus de nettoyage, garantissant que les plaquettes sont nettoyées efficacement sans laisser de résidus ou de particules susceptibles de contaminer les étapes de traitement ultérieures.

La capacité de Quartz the Tank for Wet Processing à résister aux produits chimiques agressifs est primordiale dans les applications de traitement par voie humide. Ces réservoirs sont conçus pour résister aux produits chimiques agressifs utilisés dans les processus de gravure et de nettoyage sans réagir avec eux. Cette non-réactivité garantit que les produits chimiques restent efficaces et qu'aucune réaction chimique indésirable ne se produit qui pourrait compromettre l'intégrité des plaquettes.

Dans les processus de nettoyage des tranches, il est essentiel de minimiser la contamination des tranches par des particules. Le réservoir de quartz Semicorex pour le traitement par voie humide est conçu pour réduire le risque de contamination, garantissant ainsi un nettoyage approfondi et efficace des plaquettes. Nos réservoirs en quartz peuvent être fournis dans des modèles chauffés et à recirculation, qui permettent un contrôle précis de la température et une circulation continue des solutions de nettoyage.

Une autre caractéristique essentielle du réservoir de quartz Semicorex pour le traitement par voie humide est la résistance thermique élevée. Ces réservoirs peuvent fonctionner à des températures allant jusqu'à 190°C, adaptées aux processus impliquant le chauffage des solutions de nettoyage ou de gravure. Une résistance thermique élevée garantit que les réservoirs conservent leur intégrité structurelle et leurs performances même à des températures élevées. Ceci est particulièrement important dans les processus où le contrôle de la température est crucial pour obtenir les résultats souhaités.

Le réservoir de quartz pour le traitement par voie humide présente également une faible dilatation thermique et une haute résistance aux chocs thermiques. La faible dilatation thermique minimise le risque de fissuration ou de déformation due aux fluctuations de température, garantissant ainsi la longévité et la fiabilité des réservoirs. La haute résistance aux chocs thermiques permet aux réservoirs en quartz de résister à des changements rapides de température sans compromettre leur intégrité structurelle. Ces propriétés thermiques sont essentielles au maintien de la précision et de la fiabilité des étapes de traitement par voie humide dans la fabrication des plaquettes.

La haute transparence est un autre avantage du réservoir de quartz Semicorex pour le traitement par voie humide. La transparence du matériau quartz permet une inspection visuelle des plaquettes et des solutions de nettoyage ou de gravure pendant le traitement. Cette visibilité améliore le contrôle et la surveillance des processus, garantissant que tout problème peut être détecté et résolu rapidement. La capacité de surveiller visuellement le processus est particulièrement importante pour garantir la qualité et la cohérence des étapes de nettoyage et de gravure des plaquettes.

Chez Semicorex, nous utilisons une technologie d'usinage avancée pour produire des réservoirs de quartz de haute qualité pour le traitement par voie humide. Nos capacités de fabrication incluent des disques diamantés et des découpes laser sur mesure, garantissant des dimensions précises et des finitions de haute qualité. Nous utilisons également des surfaces hautement polies pour minimiser le risque de génération de particules et de contamination. Nos soudeurs et machinistes en quartz expérimentés créent des réservoirs de quartz de haute pureté avec des entrées et des supports de sonde soudés à haute résistance, personnalisés pour répondre aux besoins spécifiques de nos clients.

Pour améliorer les performances et la durabilité du réservoir de quartz pour le traitement par voie humide, nous les recuit pour soulager le stress thermique. Le recuit est un processus de traitement thermique qui réduit les contraintes internes au sein du matériau quartz, améliorant ainsi sa résistance aux chocs thermiques et améliorant sa durabilité globale.

Les tailles et configurations personnalisées sont essentielles pour répondre aux diverses exigences des processus de fabrication de semi-conducteurs. Chez Semicorex, nous proposons une large gamme de tailles et de configurations personnalisées pour nos réservoirs de quartz, nous permettant de fournir des solutions adaptées aux besoins spécifiques de nos clients. Qu'il s'agisse d'ajouter des entrées de quartz soudées à haute résistance, des supports de sonde ou d'autres fonctionnalités personnalisées, nous travaillons en étroite collaboration avec nos clients pour fournir des réservoirs de quartz qui répondent à leurs spécifications précises.