Palette en céramique SiC

La palette en céramique Semicorex SiC est une pièce avancée qui a été développée pour les applications de fours à semi-conducteurs à haute température telles que l'oxydation et la diffusion. La palette agit comme un support en porte-à-faux pour maintenir et déplacer les plaquettes à haute température. La palette en céramique Semicorex SiC fournit des composants céramiques de haute pureté et de haute résistance aux processus à haute température qui exigent fiabilité, stabilité et performances tout au long du processus de production.

Les palettes sont fabriquées à partir de matériaux de haute puretécarbure de silicium (SiC), spécialement formulé pour résister aux environnements thermiques et chimiques difficiles d'un processus de fabrication de semi-conducteurs. Lorsque les tranches sont traitées par oxydation et diffusion, elles sont exposées à des températures supérieures à 1 000 degrés Celsius, ainsi qu'à des gaz réactifs tels que l'oxygène, la vapeur ou des atmosphères dopantes. À ces températures, l’intégrité structurelle dépendra de la pureté du matériau.

Une autre caractéristique importante des palettes en céramique SiC est leur superbe performance à haute température. En raison du point de fusion du SiC de 2 700+C, les palettes conservent leur résistance et leur stabilité mécanique lorsqu'elles sont exposées à des températures élevées.

températures au fil du temps. La propriété thermique limite la déformation et la fissuration du matériau lors de cycles répétés de chauffage et de refroidissement tout en offrant une longue durée de vie dans les environnements de production.

Le traitement des semi-conducteurs nécessite un environnement ultra-propre, car même des traces d'impuretés peuvent avoir un impact sur le rendement et le comportement des dispositifs. Le matériau SiC utilisé dans les palettes est doté d'un revêtement SiC déposé chimiquement en phase vapeur (CVD) qui favorise une pureté de matériau exceptionnellement élevée tout en minimisant la contamination métallique. Les palettes en céramique SiC restent propres et stables pendant toute leur durée de vie. En tant que supports en porte-à-faux, les palettes doivent fournir un support sécurisé aux supports de plaquettes ou aux bateaux lors de l'insertion et du retrait du four. À cause deSiCLa palette en céramique Semicorex SiC est une pièce avancée qui a été développée pour les applications de fours à semi-conducteurs à haute température telles que l'oxydation et la diffusion. La palette agit comme un support en porte-à-faux pour maintenir et déplacer les plaquettes à haute température. La palette en céramique Semicorex SiC fournit des composants céramiques de haute pureté et de haute résistance aux processus à haute température qui exigent fiabilité, stabilité et performances tout au long du processus de production.

En plus des performances, il existe une flexibilité dans la personnalisation des palettes pour des équipements et des processus spécifiques. Les dimensions, les tolérances et la finition de surface peuvent être rendues flexibles pour garantir l'adéquation entre les conceptions de fours et tout autre système de manipulation de tranches. La capacité d’atteindre des degrés élevés de précision dimensionnelle avec un usinage de précision de la céramique permettra également de produire des palettes adaptées à des géométries complexes. Toute cette gamme de fonctionnalités est destinée à fournir un fonctionnement transparent et une intégration facile dans les lignes de production existantes.

Céramique SiCLes palettes, avec leur combinaison de haute pureté, stabilité thermique, résistance mécanique et résistance chimique, sont des matériaux essentiels dans les processus d'oxydation et de diffusion des semi-conducteurs. En fournissant une plate-forme stable et propre pour le transfert de plaquettes, ils contribuent directement à l’amélioration du rendement, de la cohérence des processus et de l’efficacité globale de la fabrication.