Palettes SiC

Les palettes Semicorex SiC sont les « supports » des plaquettes, transportant les plaquettes dans des fours à une température supérieure à 1 000 degrés Celsius. C’est leur principal avantage : une grande pureté, une stabilité à haute température, pour maintenir la rigidité mécanique lors du transport de l’échantillon dans des environnements extrêmes. Les matériaux de haute pureté sont efficaces pour empêcher les impuretés métalliques de contaminer la tranche ; il en va de même pour la stabilité à haute température decarbure de silicium, car il maintiendra la stabilité chimique à des températures de traitement qui empêchent le dégazage d'impuretés métalliques ou de particules de contaminer la tranche, garantissant ainsi un rendement stable de la tranche. Dernièrement,pagaies cantileversont également compatibles avec les systèmes de transfert de plaquettes intégrés, réduisant ainsi davantage la dépendance à l'égard des humains et augmentant le débit.

Les palettes SiC sont un composant unique du support, spécifiquement pour le transport et l'intégration de tranches de semi-conducteurs dans une charge de travail par lots dans des processus tels que l'oxydation et la diffusion à haute température, entre autres. Fabriqué avec une grande puretécarbure de silicium (SiC), les palettes SiC offrent la stabilité thermique, la résistance mécanique et la durabilité chimique nécessaires pour garantir un transport stable au-dessus de températures de 1 000 °C. Les SiC Paddles sont nécessaires au traitement des plaquettes : elles garantiront que les substrats fragiles peuvent être manipulés de manière appropriée tout en maintenant leur intégrité et leur cohérence tout au long du processus d'oxydation, de diffusion et de recuit.

Conçues pour être robustes et fiables, les palettes SiC sont des bras de type cantilever qui maintiennent des bateaux de plaquettes ou des piles de plaquettes. La palette supporte les tranches pendant leur insertion ou leur retrait de la chambre de traitement. Les matériaux conventionnels échouent à ces températures élevées par déformation, gauchissement ou dégradation chimique. La stabilité mécanique et l'intégrité structurelle du carbure de silicium permettent à la palette de survivre à plusieurs cycles thermiques sans perte de forme ou de fonction. Cette capacité est importante pour maintenir l'alignement du four, garantir que les tranches ne sont pas endommagées pendant le processus et minimiser les temps d'arrêt coûteux.

La stabilité thermique des palettes SiC est complétée par leur excellente résistance chimique aux gaz réactifs qui apparaissent généralement dans les processus d'oxydation et de diffusion (par exemple, l'oxygène, le chlore et d'autres espèces agressives à haute température). De nombreux matériaux seront détruits ou contaminés lorsqu’ils seront exposés à des températures élevées et à l’oxygène. Le carbure de silicium est chimiquement inerte et sa microstructure dense garantit l'absence de réactions chimiques, garantissant à la fois l'intégrité structurelle de la palette et un environnement propre pour la tranche. Le risque de contamination qui en résulte est réduit au minimum pour les fabricants de semi-conducteurs qui opèrent sur certains des nœuds de processus les plus avancés pour lesquels même des traces de contaminants peuvent induire des changements significatifs dans les performances des appareils.

L'intégrité mécanique associée aux palettes SiC apporte également de la valeur dans les processus de manipulation. La forme structurelle en porte-à-faux nécessite un matériau capable de supporter le poids des piles de couches et qui ne fléchit pas et ne s'affaisse pas. Le module très élevé et la dureté très élevée du carbure de silicium en font un bon choix pour la fonction structurelle mécanique requise. Le SiC Paddle conserve à la fois la planéité et la structure même chargé de plaquettes. Cela signifie un contrôle constant du four et de ses conditions pendant de longues périodes de production.