Bateau de recuit de silicium

Le bateau de recuit de silicium Semicorex, méticuleusement conçu pour la manipulation et le traitement des tranches de silicium, joue un rôle crucial dans la réalisation de dispositifs semi-conducteurs hautes performances. Ses caractéristiques de conception uniques et ses propriétés matérielles le rendent essentiel pour les étapes de fabrication critiques telles que la diffusion et l'oxydation, garantissant un traitement uniforme, maximisant le rendement et contribuant à la qualité et à la fiabilité globales des dispositifs semi-conducteurs.**

envoyer une demande

Description du produit

Ultra-haute pureté pour des environnements de traitement impeccables : Le bateau de recuit de silicium Semicorex, fabriqué à partir de silicium de très haute pureté (pureté jusqu'à 13N), minimise le risque de contamination lors du traitement à haute température. Cette pureté exceptionnelle garantit que les tranches sont exposées à un environnement vierge, empêchant ainsi l'introduction d'impuretés indésirables susceptibles de dégrader les performances du dispositif et de réduire le rendement.

Contact réduit avec la plaquette pour minimiser les dommages :La surface lisse et polie du Silicon Annealing Boat minimise les points de contact avec les plaquettes, réduisant ainsi considérablement le risque de rayures, d'écaillage ou d'autres dommages mécaniques pendant le transport et le traitement. Cette manipulation minutieuse préserve l’intégrité des tranches, améliorant le rendement global du processus et contribuant à des dispositifs de meilleure qualité.

Conceptions personnalisables pour des performances optimisées : Les conceptions des bateaux de recuit de silicium peuvent être adaptées pour répondre aux exigences spécifiques du processus, notamment les variations de forme, de longueur, d'angle et de nombre de dents de support de tranche. Cette personnalisation permet d'optimiser la dynamique du flux de gaz, l'uniformité de la température et l'espacement des tranches dans le four, garantissant ainsi des résultats de traitement cohérents et reproductibles pour une large gamme de géométries de dispositifs et de paramètres de processus.

Limite élevée de dépôt de silicium polycristallin pour un fonctionnement prolongé :Le bateau de recuit de silicium présente une tolérance élevée pour le dépôt de polysilicium, permettant un fonctionnement prolongé avant qu'un nettoyage ou un remplacement ne soit nécessaire. Cette durée de vie prolongée réduit les temps d'arrêt des équipements associés à la maintenance, contribuant ainsi à augmenter la capacité de production et à réduire les coûts de fabrication globaux.