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Semicorex est votre partenaire pour l'amélioration du traitement des semi-conducteurs. Nos revêtements en carbure de silicium sont denses, résistants aux températures élevées et aux produits chimiques, et sont souvent utilisés dans tout le cycle de fabrication des semi-conducteurs, y compris le traitement des plaquettes de semi-conducteurs et la fabrication des semi-conducteurs.

Les composants céramiques SiC de haute pureté sont essentiels aux processus dans les semi-conducteurs. Notre offre s'étend des pièces consommables pour les équipements de traitement de plaquettes, telles que les bateaux à plaquettes en carbure de silicium, les palettes en porte-à-faux, les tubes, etc. pour l'épitaxie ou le MOCVD.


Avantages pour les procédés semi-conducteurs

Les phases de dépôt de couches minces telles que l'épitaxie ou le MOCVD, ou les traitements de manipulation de plaquettes tels que la gravure ou l'implantation ionique doivent supporter des températures élevées et un nettoyage chimique agressif. Semicorex fournit une construction en carbure de silicium (SiC) de haute pureté offrant une résistance thermique supérieure et une résistance chimique durable, ainsi qu'une uniformité thermique uniforme pour une épaisseur et une résistance constantes de la couche épi.


Couvercles de chambre →
Les couvercles de chambre utilisés dans le traitement de la croissance cristalline et de la manipulation des plaquettes doivent résister à des températures élevées et à un nettoyage chimique agressif.


Pagaie en porte-à-faux →
La palette en porte-à-faux est un composant crucial utilisé dans les processus de fabrication de semi-conducteurs, en particulier dans les fours de diffusion ou LPCVD lors de processus tels que la diffusion et le RTP.


Tube de traitement →
Process Tube est un composant crucial, spécifiquement conçu dans diverses applications de traitement de semi-conducteurs telles que RTP et diffusion.


Bateaux à plaquettes →
Wafer Boat est utilisé dans le traitement des semi-conducteurs, il a été méticuleusement conçu pour garantir la sécurité des plaquettes délicates pendant les étapes critiques de la production.


Anneaux d'entrée →
Anneau d'entrée de gaz recouvert de SiC par équipement MOCVD. La croissance du composé présente une résistance élevée à la chaleur et à la corrosion, ce qui présente une grande stabilité dans un environnement extrême.


Bague de mise au point →
Semicorex fournit une bague de mise au point recouverte de carbure de silicium qui est vraiment stable pour le RTA, le RTP ou le nettoyage chimique agressif.


Mandrin à plaquettes →
Les mandrins de plaquettes sous vide en céramique ultra-plats Semicorex sont recouverts de SiC de haute pureté et utilisés dans le processus de manipulation des plaquettes.


Semicorex propose également des produits céramiques en alumine (Al2O3), nitrure de silicium (Si3N4), nitrure d'aluminium (AIN), zircone (ZrO2), céramique composite, etc.


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Mandrin à plaquettes SiC

Mandrin à plaquettes SiC

Semicorex SiC Wafer Chuck constitue le summum de l'innovation dans la fabrication de semi-conducteurs, servant de composant crucial dans le processus complexe de fabrication des semi-conducteurs. Fabriqué avec une précision méticuleuse et une technologie de pointe, ce mandrin joue un rôle indispensable dans le support et la stabilisation des tranches de carbure de silicium (SiC) au cours des différentes étapes de production. Semicorex s'engage à fournir des produits de qualité à des prix compétitifs, nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine.

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Bras de robot en zircone ZrO2

Bras de robot en zircone ZrO2

Bras robot Semicorex Zirconia ZrO2, un composant essentiel dans le traitement des semi-conducteurs pour un transfert et une manipulation fluides des plaquettes. Conçu pour résister aux exigences rigoureuses des environnements à haute température, corrosifs et abrasifs, ce bras en céramique offre une durabilité et une fiabilité inégalées. Semicorex s'engage à fournir des produits de qualité à des prix compétitifs, nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine.

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Buse en céramique de zircone

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Buse en céramique de zircone Semicorex, fabriquée avec une attention méticuleuse aux détails, cette buse est la quintessence de l'excellence dans le contrôle du débit des gaz et des liquides avec une uniformité et une précision inégalées. Semicorex s'engage à fournir des produits de qualité à des prix compétitifs, nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine.

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Mandrin en céramique de nitrure d'aluminium

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Le mandrin en céramique de nitrure d'aluminium Semicorex représente une solution de pointe pour le traitement des plaquettes de semi-conducteurs, spécialement conçue pour maintenir solidement les plaquettes en place pendant les différentes étapes de fabrication. Fonctionnant comme un mandrin électrostatique (ESC), ce dispositif innovant exploite les propriétés exceptionnelles de la céramique de nitrure d'aluminium pour garantir une rétention précise et fiable des plaquettes. Semicorex s'engage à fournir des produits de qualité à des prix compétitifs, nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine.

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Support de plaquette en nitrure d'aluminium

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Roulement en nitrure de silicium

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Semicorex produit Céramique depuis de nombreuses années et est l'un des fabricants et fournisseurs professionnels de Céramique en Chine. Une fois que vous avez acheté nos produits avancés et durables qui fournissent un emballage en vrac, nous garantissons la grande quantité dans une livraison rapide. Au fil des ans, nous avons fourni à nos clients un service personnalisé. Les clients sont satisfaits de nos produits et de notre excellent service. Nous sommes sincèrement impatients de devenir votre partenaire commercial fiable à long terme ! Bienvenue pour acheter des produits de notre usine.
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