Assiette de sic poreuse

La plaque SIC poreuse semi-orecorex est un matériau en céramique haute performance conçu pour les applications avancées de fabrication de semi-conducteurs et de précision. Issue avec une structure poreuse finement contrôlée, cette plaque offre une résistance mécanique exceptionnelle, une stabilité thermique et une résistance chimique, ce qui en fait un choix idéal pour une utilisation comme unvidedans le traitement des semi-conducteurs.

Traitée par frittage de précision et formant des pores, la plaque de sic poreuse a une porosité uniforme et une perméabilité de l'air optimisée assurant ainsi une adsorption sécurisée et stable de plaquettes minces, de panneaux de verre et d'autres substrats délicats. La distribution de la taille des pores soigneusement contrôlée permettra une aspiration à vide efficace tout en maintenant ses constituants structurels jusqu'à ce que le tout dernier atome, empêchant pratiquement la déformation ou les dommages du matériau destiné à un traitement ultérieur: les plaquettes.

Son excellente conductivité thermique fait de la plaque de sic poreuse l'un des meilleurs candidats pour une dissipation de chaleur rapide avec une distribution uniforme de la température à travers la surface. Cela devient important dans de nombreux types de processus de fabrication de semi-conducteurs pour maintenir la stabilité dans des conditions thermiques, qui se rapporte directement au rendement et à la qualité du produit. En outre, le carbure de silicium présente bien la résistance à l'usure et un niveau de dureté relativement élevé, donnant ainsi une durée de vie plus longue pour l'assiette car l'usure de surface et la contamination sont retardées sur une utilisation considérable.

L'inertie chimique est une autre caractéristique vitale de la plaque de sic poreuse. Il présente une forte résistance aux acides, aux alcalis et à l'exposition au plasma, ce qui le rend bien adapté à des environnements difficiles dans la fabrication de semi-conducteurs, tels que la gravure, le dépôt et les chambres de traitement chimique. La nature non réactive du SIC empêche les interactions chimiques indésirables, préservant la pureté des matériaux transformés et améliorant la fiabilité de la production.

De plus, la nature légère de la sic poreuse, combinée à ses propriétés mécaniques robustes, facilite la manipulation et l'intégration faciles dans les machines de précision. Le coefficient de dilatation thermique faible assure une stabilité dimensionnelle même sous des fluctuations de température extrêmes, minimisant le risque de déformation ou de désalignement pendant le fonctionnement.

La plaque sic poreuse peut être personnalisée pour répondre aux exigences d'application spécifiques, y compris des variations de porosité, d'épaisseur et de finition de surface. Des techniques d'usinage et de polissage avancées peuvent être appliquées pour atteindre des surfaces ultra-plates avec une rugosité minimale, améliorant encore ses performances en tant que matériau de mandrin à vide.

La plaque en carbure de silicium poreux semicoréx est un composant en céramique hautement spécialisé qui offre une combinaison de haute résistance, une excellente stabilité thermique et chimique et une résistance à l'usure supérieure. Sa structure poreuse unique permet une aspiration à vide efficace, assurant une manipulation sécurisée de plaquettes dans les industries des semi-conducteurs et de précision. En conséquence, il s'agit d'un matériau essentiel pour les applications de haute précision où les performances, la durabilité et la fiabilité sont primordiales.