Piédestal en silicone

Le socle en silicium Semicorex, un composant souvent négligé mais d'une importance cruciale, joue un rôle essentiel dans l'obtention de résultats précis et reproductibles dans les processus de diffusion et d'oxydation des semi-conducteurs. La plate-forme spécialisée, sur laquelle reposent les bateaux en silicium dans les fours à haute température, offre des avantages uniques qui contribuent directement à une meilleure uniformité de la température, à une meilleure qualité des plaquettes et, en fin de compte, à des performances supérieures des dispositifs à semi-conducteurs.**

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Description du produit

1. Socle en silicium Semicorex stabilisant l'environnement de traitement pour des résultats optimaux :

Créer une base stable pour les bateaux en cristal :Le socle en silicium fournit une plate-forme robuste et thermiquement stable pour les bateaux en silicium dans la chambre du four à haute température. Cette stabilité garantit que les bateaux conservent leur position et leur orientation tout au long du processus, empêchant ainsi tout mouvement ou inclinaison indésirable qui pourrait perturber la dynamique du flux de gaz et compromettre l'uniformité de la température.

Amélioration de l'uniformité de la température dans la chambre de réaction :En isolant efficacement le bateau en silicium du fond et des parois du four, le socle en silicium minimise les pertes de chaleur par conduction et favorise une répartition plus uniforme de la température dans le tube de réaction thermique. Cette capacité améliorée de gestion thermique est cruciale pour obtenir des profils de diffusion ou d’oxydation cohérents et reproductibles sur toute la surface de la tranche.

Améliorer l’efficacité de l’isolation pour une utilisation optimisée de l’énergie :Les propriétés d'isolation thermique inhérentes au socle en silicium contribuent à un processus plus économe en énergie en minimisant les pertes de chaleur dans l'environnement. Cela se traduit par des cycles de chauffage et de refroidissement plus rapides, une consommation d'énergie réduite et, en fin de compte, une réduction des coûts globaux de traitement.

2. Synergie matérielle pour une qualité supérieure des plaquettes :

Expansion thermique adaptée pour réduire la contrainte sur la plaquette :Le socle en silicium, fabriqué à partir du même matériau de silicium de haute pureté que les bateaux et les plaquettes elles-mêmes, offre un avantage crucial par rapport aux matériaux alternatifs comme le quartz ou le carbure de silicium. Cette synergie de matériaux garantit que le socle, le bateau et les tranches se dilatent et se contractent à des rythmes presque identiques pendant les cycles de chauffage et de refroidissement, minimisant ainsi le risque de contrainte thermique, de courbure des tranches et de défauts cristallographiques pouvant avoir un impact négatif sur le rendement et les performances du dispositif.

Minimiser la contamination et les disparités de treillis :L'utilisation de silicium de haute pureté pour le socle en silicium et le bateau élimine le risque de contamination par des matériaux différents, garantissant ainsi un environnement de traitement impeccable pour les tranches. Cette compatibilité matérielle minimise également le risque de disparités de réseau à l’interface plaquette-bateau, contribuant ainsi à améliorer la qualité des cristaux et à réduire les densités de défauts.