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Bague de mise au point en carbure de silicium solide

Bague de mise au point en carbure de silicium solide

La bague de focalisation en carbure de silicium solide Semicorex est un composant essentiel dans la fabrication de semi-conducteurs, stratégiquement positionnée à l'extérieur de la tranche pour maintenir un contact direct. En utilisant une tension appliquée, cet anneau concentre le plasma qui le traverse, améliorant ainsi l'uniformité du processus sur la tranche. Construite uniquement à partir de carbure de silicium par dépôt chimique en phase vapeur (CVD SiC), cette bague de mise au point incarne les qualités exceptionnelles exigées par l'industrie des semi-conducteurs. Chez Semicorex, nous nous engageons à fabriquer et à fournir une bague de mise au point en carbure de silicium solide de haute performance qui allie qualité et rentabilité.

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Description du produit

Dans la fabrication de semi-conducteurs, la bague de focalisation en carbure de silicium solide Semicorex joue un rôle crucial en agissant comme un bouclier, préservant l'intégrité de la tranche pendant le processus de gravure. Sa conception méticuleusement conçue garantit une gravure précise et uniforme, facilitant ainsi la production d'éléments semi-conducteurs très complexes présentant des performances et une fiabilité supérieures.


Le carbure de silicium est le matériau de choix pour la bague de focalisation en raison de sa résistance supérieure à la corrosion du plasma lorsqu'il est exposé au plasma dans la chambre de réaction sous vide. La bague de mise au point en carbure de silicium massif surpasse le silicium traditionnel à plusieurs égards, notamment :


(1) Haute densité qui minimise les taux de gravure.


(2) Bande interdite supérieure et excellentes propriétés d’isolation.


(3) Conductivité thermique exceptionnelle, faible coefficient de dilatation thermique et résistance aux chocs thermiques.


(4) Haute élasticité associée à une excellente résistance aux impacts mécaniques.


(5) Dureté, résistance à l’usure et résistance à la corrosion exceptionnelles.


La conductivité et la résistance du carbure de silicium à la gravure ionique sont similaires à celles du silicium, ce qui fait de la bague de focalisation en carbure de silicium solide un matériau idéal pour cette application.


La bague de focalisation en carbure de silicium solide Semicorex constitue une solution de pointe dans le domaine de la fabrication de semi-conducteurs. Il exploite les propriétés uniques du CVD SiC pour faciliter des processus de gravure fiables et hautes performances, contribuant ainsi de manière significative à l’avancement de la technologie des semi-conducteurs.



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