Pièces en graphite revêtues de TaC

Les pièces en graphite revêtues de Semicorex TaC sont fabriquées en graphite isostatique de haute pureté et sont recouvertes de carbure de tantale (TaC), qui offre une résistance inégalée aux températures extrêmes. Les pièces en graphite revêtues de TaC sont conçues pour résister aux conditions rigoureuses rencontrées dans la fabrication de semi-conducteurs et sont excellentes pour améliorer divers processus cruciaux pour la production de produits semi-conducteurs de haute qualité. Leur résistance exceptionnelle à la chaleur garantit fiabilité et longévité, même dans les environnements thermiques les plus difficiles.

Les pièces en graphite revêtues de TaC jouent un rôle central dans l'optimisation des techniques clés de traitement des semi-conducteurs, notamment les processus de diffusion, le recuit d'oxydation, le LPCVD et le PECVD. En facilitant un contrôle précis de la température et en garantissant l'uniformité sur tous les substrats, les pièces en graphite revêtues de TaC contribuent de manière significative à améliorer la qualité des produits et l'efficacité de la fabrication.

Les pièces en graphite à revêtement Semicorex TaC sont conçues pour répondre aux exigences strictes de la fabrication de semi-conducteurs. Qu'il s'agisse d'améliorer les processus de diffusion ou d'améliorer la qualité et l'efficacité de diverses techniques de dépôt, les pièces en graphite revêtues de TaC sont des atouts indispensables dans la poursuite de l'excellence dans la fabrication de semi-conducteurs.