Le support de germes de cristal recouvert de TaC est un composant haute performance spécialement conçu pour l'environnement de croissance des matériaux semi-conducteurs. En tant que fabricant leader de supports de germes de cristal recouverts de TTaC, semicorex vous propose des solutions de composants de base efficaces dans le domaine de la fabrication de semi-conducteurs haut de gamme.
Le substrat deRevêtement TaCLe support de germes de cristal est généralement constitué de graphite, de carbure de silicium ou de matériaux composites carbone/carbone, puis une couche de revêtement TaC est appliquée sur sa surface grâce à une technologie avancée de dépôt chimique en phase vapeur (CVD) à ultra-haute température. Le support de germes de cristal recouvert de TaC fabriqué par ce procédé présente une excellente résistance à la corrosion, une super résistance mécanique, une bonne résistance aux températures élevées et une conductivité thermique efficace.
La fonction du porte-cristal de graine enduit de TaC
1. Fonction de support
Le support de germes de cristaux à revêtement TaC de Semicorex fournit une plate-forme de support stable pour les germes de cristaux, garantissant que les germes de cristaux maintiennent une position fixe dans des conditions difficiles telles qu'une température élevée et un vide poussé. Cela évite efficacement les problèmes tels que le déplacement des cristaux ou les dommages dus aux vibrations et au flux d’air, et garantit ainsi la continuité et la stabilité de la croissance des cristaux.
2. Effet protecteur
Le support de germes de cristal recouvert de TaC est installé au-dessus du couvercle du creuset en graphite et isole le couvercle en graphite de la vapeur de Si à haute température. Cela évite efficacement la corrosion induite par la vapeur et prolonge la durée de vie du couvercle en graphite. De plus, la stabilité chimique inhérente et la résistance aux températures thermiques du revêtement TaC contribuent également à réduire l'introduction d'impuretés, fournissant ainsi un environnement stable et propre pour la croissance des germes cristallins.
3. Contrôle de la température
Le support de cristaux de graine à revêtement Semicorex TaC utilise des techniques de fabrication à la pointe de l'industrie. Un contrôle précis de la température du champ thermique peut être obtenu en optimisant de manière experte leur forme, leurs dimensions et l'épaisseur du revêtement. Cela réduit considérablement le taux de défauts et favorise efficacement une croissance cristalline uniforme.