Suscepteur enduit de TaC

Le suscepteur à revêtement Semicorex TaC, fabriqué à partir d'un matériau de base en graphite, est recouvert de carbure de tantale (TaC) pour améliorer ses performances et sa durabilité.

Le carbure de tantale offre une stabilité thermique exceptionnelle, permettant au suscepteur revêtu de TaC de résister à des températures extrêmement élevées souvent rencontrées dans des processus tels que le dépôt chimique en phase vapeur (CVD) et le dépôt physique en phase vapeur (PVD). Et le revêtement TaC offre une résistance supérieure aux réactions chimiques, à l’oxydation et à la corrosion, ce qui est crucial pour maintenir l’intégrité et les performances dans des environnements chimiques difficiles.

Les propriétés thermiques uniformes et stables du suscepteur revêtu de TaC améliorent la cohérence et la qualité des processus dans lesquels ils sont utilisés, conduisant à un meilleur rendement et une meilleure efficacité dans la fabrication de semi-conducteurs.

Parallèlement, l'utilisation du TaC du suscepteur revêtu TaC minimise le risque de contamination dans les processus de semi-conducteurs, ce qui est essentiel pour produire des composants électroniques de haute pureté et sans défauts.

Applications du suscepteur revêtu de TaC :

Fabrication de semi-conducteurs : utilisé dans les processus CVD et PVD pour déposer des films minces et des couches épitaxiales sur des tranches semi-conductrices.

Production de LED : Utilisé dans la production de diodes électroluminescentes (DEL) où des conditions thermiques précises et stables sont requises.

Fabrication de cellules solaires : Utilisé dans la fabrication de cellules photovoltaïques pour améliorer l’efficacité et la fiabilité.

Les suscepteurs à revêtement Semicorex TaC sont essentiels dans les processus de fabrication avancés où une stabilité thermique, une résistance chimique et une durabilité élevées sont requises. Leur application garantit des performances, une longévité et une qualité de produit améliorées dans les industries de haute technologie.