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TAC SOBATING Half-lune Part
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TAC SOBATING Half-lune Part

La pièce demi-lune du revêtement Semicorex TAC est un composant haute performance conçu pour une utilisation dans les processus épitaxy SIC dans les fours épitaxy LPE. Choisissez Semicorex pour une qualité inégalée, une ingénierie de précision et un engagement à faire progresser l'excellence de la fabrication de semi-conducteurs. *

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Description du produit

La pièce demi-lune du revêtement semicoréx TAC est un composant conçu de précision adapté aux processus d'épitaxy SIC dans les fours épitaxy LPE. Conçu avec un revêtement en carbure de tantalum de haute pureté (TAC), cette partie offre une stabilité thermique et chimique exceptionnelle, assurant des performances optimales dans des environnements à haute température.


Les pièces de demi-lune semicorex TAC en demi-lune sont conçues pour répondre aux demandes rigoureuses de la fabrication avancée de semi-conducteurs. Le revêtement TAC fournit une résistance supérieure à la corrosion et à l'oxydation, prolongeant la durée de vie du composant et maintenant des performances cohérentes sur des cycles opérationnels prolongés. Sa conception de demi-lune améliore l'uniformité de la croissance de la couche épitaxiale, améliorant la qualité des cristaux et la fiabilité des processus.



La céramique TAC a un point de fusion allant jusqu'à 3880 ° C, une dureté élevée (dureté Mohs 9-10), une grande conductivité thermique (22W · M-1 · K - 1), une grande résistance à la flexion (340-400MPA) et un petit coefficient d'expansion thermique (6,6 × 10 - 1k - 1). Ils présentent également une excellente stabilité thermochimique et d'excellentes propriétés physiques, et ont une bonne compatibilité chimique et mécanique avec les composites de graphite et de C / C. Par conséquent, les revêtements TAC sont largement utilisés dans la protection thermique aérospatiale, la croissance monocristallière, l'électronique énergétique et les dispositifs médicaux.


Le graphite enduit de TAC a une meilleure résistance à la corrosion chimique que le graphite nu ou le graphite enduit de Sic, peut être utilisé de manière stable à des températures élevées de 2600 ° et ne réagit pas avec de nombreux éléments métalliques. Il s'agit du meilleur revêtement dans les scénarios de croissance en cristal et de gravure monocristalliques de troisième génération, et peut améliorer considérablement le contrôle de la température et des impuretés dans le processus, et préparer des tranches de carbure de silicium de haute qualité et des tranches épitaxiales apparentées. Il convient particulièrement à la croissance ou à des monocristaux GAn ou ALN avec un équipement MOCVD et à la croissance ou à des monocristaux SIC avec un équipement PVT. La qualité des monocristaux cultivés est considérablement améliorée.


Ce produit est une solution idéale pour les fabricants priorités de précision, d'efficacité et de durabilité dans leurs processus épitaxy. Trust Semicorex pour des solutions haute performance conçues pour répondre aux besoins en évolution de l'industrie des semi-conducteurs.




Balises actives: Partie à demi-lune de revêtement TAC, Chine, fabricants, fournisseurs, usine, personnalisée, en vrac, avancé, durable
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