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Le graphite de revêtement TaC est créé en recouvrant la surface d'un substrat en graphite de haute pureté d'une fine couche de carbure de tantale par un procédé exclusif de dépôt chimique en phase vapeur (CVD).



Le carbure de tantale (TaC) est un composé composé de tantale et de carbone. Il possède une conductivité électrique métallique et un point de fusion exceptionnellement élevé, ce qui en fait un matériau céramique réfractaire connu pour sa solidité, sa dureté et sa résistance à la chaleur et à l'usure. Le point de fusion des carbures de tantale culmine à environ 3 880 °C en fonction de la pureté et possède l'un des points de fusion les plus élevés parmi les composés binaires. Cela en fait une alternative intéressante lorsque les exigences de température plus élevées dépassent les capacités de performance utilisées dans les processus épitaxiaux de semi-conducteurs composés tels que MOCVD et LPE.


Données matérielles du revêtement Semicorex TaC

Projets

Paramètres

Densité

14,3 (g/cm³)

Émissivité

0.3

ETC (×10-6/K)

6.3

Dureté (HK)

2000

Résistance (Ohm-cm)

1×10-5

Stabilité thermique

<2500℃

Changement de dimension du graphite

-10 ~ -20um (valeur de référence)

Épaisseur du revêtement

Valeur typique ≥20um (35um ± 10um)



Les valeurs ci-dessus sont typiques




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Suscepteur de plaquette à revêtement TaC

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Le suscepteur de plaquette à revêtement Semicorex TaC est un composant crucial utilisé dans les fours de dépôt chimique en phase vapeur de composés organiques métalliques (MOCVD) pour le traitement épitaxial (épi) des semi-conducteurs. Semicorex s'engage à fournir des produits de qualité à des prix compétitifs, nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine.

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Plaque revêtue de carbure de tantale TaC

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La plaque revêtue de carbure de tantale Semicorex TaC est une solution de pointe conçue pour répondre aux exigences strictes de la fabrication de semi-conducteurs, en particulier au stade du traitement épitaxial (épi). Semicorex s'engage à fournir des produits de qualité à des prix compétitifs, nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine.

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Anneau de guidage revêtu de TaC

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Suscepteur en graphite revêtu de TaC

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Pièces en graphite revêtues de carbure de tantale

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Récepteur en graphite recouvert de carbure de tantale

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