Pièce demi-lune avec revêtement en carbure de tantale

La pièce demi-lune avec revêtement en carbure de tantale Semicorex est un composant hautement spécialisé destiné à être utilisé dans le processus de dépôt épitaxial. Cette pièce demi-lune recouverte de carbure de tantale est essentielle dans les environnements où la résistance aux températures élevées, une durabilité exceptionnelle et une inertie chimique inégalée sont impératives.

La pièce Halfmoon avec revêtement en carbure de tantale est fabriquée à partir de carbure de tantale de haute pureté, offrant une excellente conductivité thermique et une résistance extrême aux températures élevées et aux chocs thermiques. Le revêtement TaC offre une couche de protection supplémentaire contre les produits chimiques corrosifs et les environnements difficiles typiques des réacteurs épitaxiaux. Le revêtement améliore la durabilité et la durée de vie de la pièce, garantissant des performances constantes sur plusieurs cycles.

La pièce demi-lune avec revêtement en carbure de tantale est capable de résister à des températures allant jusqu'à 2 200 °C, ce qui la rend idéale pour les processus à haute température. Présente une faible réactivité avec le silicium et d’autres matériaux semi-conducteurs, maintenant l’intégrité des couches épitaxiales.

Pièce demi-lune avec revêtement en carbure de tantale principalement utilisée dans l'industrie des semi-conducteurs, en particulier dans la croissance épitaxiale du carbure de silicium. Convient pour une utilisation dans les réacteurs épitaxiaux de recherche et industriels.