L'équipement de gravure à sec n'utilise aucun produit chimique humide pour la gravure. Il introduit principalement un agent de gravure gazeux dans la chambre via une électrode supérieure dotée de minuscules trous traversants. Le champ électrique généré par les électrodes supérieure et inférieure ion......
En savoir plusEn tant que représentant des matériaux semi-conducteurs de troisième génération, le carbure de silicium (SiC) possède une large bande interdite, une conductivité thermique élevée, un champ électrique de claquage élevé et une mobilité électronique élevée, ce qui en fait un matériau idéal pour les dis......
En savoir plusLe processus d'oxydation fait référence au processus consistant à fournir des oxydants (tels que l'oxygène, la vapeur d'eau) et de l'énergie thermique sur des tranches de silicium, provoquant une réaction chimique entre le silicium et les oxydants pour former un film protecteur de dioxyde de siliciu......
En savoir plusLe collage de plaquettes est une technologie essentielle dans la fabrication de semi-conducteurs. Il utilise des méthodes physiques ou chimiques pour lier deux tranches lisses et propres afin d'accomplir des fonctions spécifiques ou d'aider au processus de fabrication de semi-conducteurs. Il s'a......
En savoir plusLes pommes de douche en carbure de silicium (SiC) sont des composants clés des équipements de fabrication de semi-conducteurs, jouant un rôle crucial dans les processus avancés tels que le dépôt chimique en phase vapeur (CVD) et le dépôt de couche atomique (ALD).
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