Le corps de suscepteur revêtu de SiC pour chambre de réacteur LPE de Semicorex est une solution hautement fiable pour les processus de fabrication de semi-conducteurs, offrant des propriétés supérieures de distribution de chaleur et de conductivité thermique. Il est également très résistant à la corrosion, à l'oxydation et aux températures élevées.
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