Semicorex est un fabricant et fournisseur à grande échelle de graphite revêtu de carbure de silicium en Chine. Notre bague d'étanchéité d'entrée MOCVD a un bon avantage de prix et couvre de nombreux marchés européens et américains. Nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme.
La bague d'étanchéité d'entrée MOCVD à revêtement en carbure de silicium Semicorex est un graphite revêtu de SiC de haute pureté, utilisé dans le processus de dépôt et de manipulation des plaquettes. La bague d'étanchéité d'entrée MOCVD revêtue de SiC a une résistance élevée à la chaleur et à la corrosion, ce qui a une grande stabilité dans un environnement extrême.
Chez Semicorex, nous nous concentrons sur la fourniture d'une bague d'étanchéité d'entrée MOCVD de haute qualité et rentable, nous accordons la priorité à la satisfaction du client et fournissons des solutions rentables. Nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme, offrant des produits de haute qualité et un service client exceptionnel.
Paramètres de la bague d'étanchéité d'entrée MOCVD
Principales caractéristiques du revêtement CVD-SIC |
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Propriétés SiC-CVD |
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Structure en cristal |
Phase β FCC |
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Densité |
g/cm³ |
3.21 |
Dureté |
Dureté Vickers |
2500 |
Taille d'un grain |
μm |
2~10 |
Pureté chimique |
% |
99.99995 |
Capacité thermique |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
Température de sublimation |
℃ |
2700 |
Force Felexurale |
MPa (RT 4 points) |
415 |
Module de Young |
Gpa (pli 4pt, 1300â) |
430 |
Dilatation Thermique (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Conductivité thermique |
(W/mK) |
300 |
Caractéristiques de la bague d'étanchéité d'entrée MOCVD
Graphite recouvert de SiC de haute pureté
Résistance à la chaleur supérieure et uniformité thermique
Cristal de SiC fin enduit pour une surface lisse
Haute durabilité contre le nettoyage chimique
Le matériau est conçu pour éviter les fissures et le délaminage.