Bague d'étanchéité d'entrée MOCVD

Semicorex est un fabricant et fournisseur à grande échelle de graphite revêtu de carbure de silicium en Chine. Notre bague d'étanchéité d'entrée MOCVD présente un bon avantage en termes de prix et couvre de nombreux marchés européens et américains. Nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme.

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Description du produit

La bague d'étanchéité d'entrée MOCVD à revêtement en carbure de silicium Semicorex est un graphite revêtu de SiC de haute pureté, utilisé dans le processus de dépôt et de manipulation des plaquettes. La bague d'étanchéité d'entrée MOCVD revêtue de SiC présente une résistance élevée à la chaleur et à la corrosion, ce qui lui confère une grande stabilité dans un environnement extrême.

Chez Semicorex, nous nous concentrons sur la fourniture d'une bague d'étanchéité d'entrée MOCVD de haute qualité et rentable, nous accordons la priorité à la satisfaction du client et fournissons des solutions rentables. Nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme, en fournissant des produits de haute qualité et un service client exceptionnel.

Paramètres de la bague d'étanchéité d'entrée MOCVD

Principales spécifications du revêtement CVD-SIC
Propriétés SiC-CVD
Structure cristalline	Phase β du FCC
Densité	g/cm³	3.21
Dureté	Dureté Vickers	2500
Taille des grains	µm	2~10
Pureté chimique	%	99.99995
Capacité thermique	J kg-1 K-1	640
Température de sublimation	℃	2700
Force de flexion	MPa (RT 4 points)	415
Module de Young	Gpa (courbure 4pt, 1300℃)	430
Expansion thermique (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Conductivité thermique	(W/mK)	300