Réchauffeur de plaquette de silicium

Semicorex Silicon Wafer Heater est recouvert de carbure de silicium à l'aide de MOCVD, qui peut fonctionner dans le four à haute température avec plus de 3000 ° C dans une atmosphère inerte, 2200 ° C sous vide. Le revêtement SiC est un revêtement en carbure de silicium (SiC) dense et résistant à l'usure.
Notre réchauffeur de plaquette de silicium a des propriétés élevées de résistance à la corrosion et à la chaleur ainsi qu'une excellente conductivité thermique. Nous appliquons du SiC en couches minces sur le graphite en utilisant le procédé de dépôt chimique en phase vapeur (CVD).
Chez Semicorex, nous nous concentrons sur la fourniture de produits de haute qualité et rentables à nos clients. Notre réchauffeur de plaquette de silicium a un avantage de prix et est exporté vers de nombreux marchés européens et américains. Notre objectif est d'être votre partenaire à long terme, offrant des produits de qualité constante et un service client exceptionnel.

Paramètres du réchauffeur de plaquettes de silicium

Caractéristiques du réchauffeur de plaquette de silicium

- Les revêtements en carbure de silicium utilisent la méthode CVD pour améliorer la durée de vie.
- Isolation thermique en carbone rigide purifié haute performance.
- Le substrat en graphite et la couche de carbure de silicium ont une conductivité thermique élevée et d'excellentes propriétés de répartition de la chaleur.
- Graphite de haute pureté et revêtement SiC pour une résistance aux trous d'épingle et une durée de vie plus longue

Nous pouvons fournir un creuset en graphite anti-oxydation et à longue durée de vie, un moule en graphite et toutes les pièces du réchauffeur en graphite.