Semicorex RTP/RTA SiC Coating Carrier est conçu pour résister aux conditions les plus difficiles de l'environnement de dépôt. Grâce à sa haute résistance à la chaleur et à la corrosion, ce produit est conçu pour fournir des performances optimales pour la croissance épitaxiale. Le support revêtu de SiC a une conductivité thermique élevée et d'excellentes propriétés de répartition de la chaleur, garantissant des performances fiables pour le RTA, le RTP ou le nettoyage chimique agressif.
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