Support de revêtement RTP/RTA SiC

Le support de revêtement Semicorex RTP/RTA SiC est conçu pour résister aux conditions les plus difficiles de l'environnement de dépôt. Grâce à sa résistance élevée à la chaleur et à la corrosion, ce produit est conçu pour offrir des performances optimales pour la croissance épitaxiale. Le support revêtu de SiC présente une conductivité thermique élevée et d'excellentes propriétés de répartition de la chaleur, garantissant des performances fiables pour le nettoyage RTA, RTP ou chimique agressif.

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Description du produit

Notre support de revêtement RTP/RTA SiC pour la croissance épitaxiale MOCVD est la solution parfaite pour la manipulation des plaquettes et le traitement de la croissance épitaxiale. Avec une surface lisse et une grande durabilité contre le nettoyage chimique, ce produit offre des performances fiables dans les environnements de dépôt difficiles.
Le matériau de notre support de revêtement RTP/RTA SiC est conçu pour éviter les fissures et le délaminage, tandis que la résistance thermique supérieure et l'uniformité thermique garantissent des performances constantes pour le RTA, le RTP ou le nettoyage chimique agressif.
Contactez-nous dès aujourd'hui pour en savoir plus sur notre support de revêtement RTP/RTA SiC

Paramètres du support de revêtement RTP/RTA SiC

Principales spécifications du revêtement CVD-SIC
Propriétés SiC-CVD
Structure cristalline	Phase β du FCC
Densité	g/cm³	3.21
Dureté	Dureté Vickers	2500
Taille des grains	µm	2~10
Pureté chimique	%	99.99995
Capacité thermique	J kg-1 K-1	640
Température de sublimation	℃	2700
Force de flexion	MPa (RT 4 points)	415
Module de Young	Gpa (courbure 4pt, 1300℃)	430
Expansion thermique (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Conductivité thermique	(W/mK)	300

Caractéristiques du support de revêtement RTP/RTA SiC

Graphite revêtu de SiC de haute pureté
Résistance thermique supérieure et uniformité thermique
Cristal SiC fin recouvert pour une surface lisse
Haute durabilité contre le nettoyage chimique
Le matériau est conçu de manière à éviter les fissures et le délaminage.