Support de revêtement SiC RTP/RTA

Semicorex RTP/RTA SiC Coating Carrier est conçu pour résister aux conditions les plus difficiles de l'environnement de dépôt. Grâce à sa haute résistance à la chaleur et à la corrosion, ce produit est conçu pour fournir des performances optimales pour la croissance épitaxiale. Le support revêtu de SiC a une conductivité thermique élevée et d'excellentes propriétés de répartition de la chaleur, garantissant des performances fiables pour le RTA, le RTP ou le nettoyage chimique agressif.

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Description du produit

Notre support de revêtement SiC RTP/RTA pour la croissance épitaxiale MOCVD est la solution parfaite pour la manipulation de plaquettes et le traitement de croissance épitaxiale. Avec une surface lisse et une grande durabilité contre le nettoyage chimique, ce produit offre des performances fiables dans les environnements de dépôt difficiles.
Le matériau de notre support de revêtement RTP/RTA SiC est conçu pour éviter les fissures et le délaminage, tandis que la résistance à la chaleur et l'uniformité thermique supérieures garantissent des performances constantes pour le RTA, le RTP ou le nettoyage chimique agressif.
Contactez-nous dès aujourd'hui pour en savoir plus sur notre support de revêtement SiC RTP/RTA

Paramètres du support de revêtement RTP/RTA SiC

Principales caractéristiques du revêtement CVD-SIC
Propriétés SiC-CVD
Structure en cristal	Phase β FCC
Densité	g/cm³	3.21
Dureté	Dureté Vickers	2500
Taille d'un grain	μm	2~10
Pureté chimique	%	99.99995
Capacité thermique	J·kg-1 ·K-1	640
Température de sublimation	℃	2700
Force Felexurale	MPa (RT 4 points)	415
Module de Young	Gpa (pli 4pt, 1300â)	430
Dilatation Thermique (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Conductivité thermique	(W/mK)	300

Caractéristiques du support de revêtement RTP/RTA SiC

Graphite recouvert de SiC de haute pureté
Résistance à la chaleur supérieure et uniformité thermique
Cristal de SiC fin enduit pour une surface lisse
Haute durabilité contre le nettoyage chimique
Le matériau est conçu pour éviter les fissures et le délaminage.