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Corps de suscepteur revêtu de SiC pour chambre de réacteur LPE

Corps de suscepteur revêtu de SiC pour chambre de réacteur LPE

Le corps de suscepteur revêtu de SiC pour chambre de réacteur LPE de Semicorex est une solution hautement fiable pour les processus de fabrication de semi-conducteurs, offrant des propriétés supérieures de distribution de chaleur et de conductivité thermique. Il est également très résistant à la corrosion, à l'oxydation et aux températures élevées.

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