Le support de revêtement Semicorex RTP SiC offre une résistance à la chaleur et une uniformité thermique supérieures, ce qui en fait la solution idéale pour les applications de traitement de tranches de semi-conducteurs. Avec son graphite revêtu de SiC de haute qualité, ce produit est conçu pour résister aux environnements de dépôt les plus difficiles pour la croissance épitaxiale. La conductivité thermique élevée et les excellentes propriétés de distribution de la chaleur garantissent des performances fiables pour le nettoyage RTA, RTP ou chimique agressif.
En savoir plusenvoyer une demande