Support de revêtement RTP SiC

Le support de revêtement Semicorex RTP SiC offre une résistance thermique et une uniformité thermique supérieures, ce qui en fait la solution parfaite pour les applications de traitement de plaquettes semi-conductrices. Avec son graphite revêtu de SiC de haute qualité, ce produit est conçu pour résister aux environnements de dépôt les plus difficiles pour la croissance épitaxiale. La conductivité thermique élevée et les excellentes propriétés de répartition de la chaleur garantissent des performances fiables pour le nettoyage RTA, RTP ou chimique agressif.

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Description du produit

Notre support de revêtement RTP SiC est conçu pour résister aux conditions les plus difficiles de l'environnement de dépôt. Grâce à leur résistance élevée à la chaleur et à la corrosion, les suscepteurs d'épitaxie sont soumis à un environnement de dépôt parfait pour la croissance épitaxiale. Le revêtement fin en cristal SiC sur le support garantit une surface lisse et une grande durabilité contre le nettoyage chimique, tandis que le matériau est conçu pour éviter les fissures et le délaminage.
Chez Semicorex, nous nous concentrons sur la fourniture de supports de revêtement RTP SiC rentables et de haute qualité, nous accordons la priorité à la satisfaction du client et fournissons des solutions rentables. Nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme, en fournissant des produits de haute qualité et un service client exceptionnel.
Contactez-nous dès aujourd'hui pour en savoir plus sur notre support de revêtement RTP SiC.

Paramètres du support de revêtement RTP SiC

Principales spécifications du revêtement CVD-SIC
Propriétés SiC-CVD
Structure cristalline	Phase β du FCC
Densité	g/cm³	3.21
Dureté	Dureté Vickers	2500
Taille des grains	µm	2~10
Pureté chimique	%	99.99995
Capacité thermique	J kg-1 K-1	640
Température de sublimation	℃	2700
Force de flexion	MPa (RT 4 points)	415
Module de Young	Gpa (courbure 4pt, 1300℃)	430
Expansion thermique (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Conductivité thermique	(W/mK)	300

Caractéristiques du support de revêtement RTP SiC

Graphite revêtu de SiC de haute pureté
Résistance thermique et uniformité thermique supérieures
Cristal SiC fin recouvert pour une surface lisse
Haute durabilité contre le nettoyage chimique
Le matériau est conçu de manière à éviter les fissures et le délaminage.