Le support de revêtement Semicorex RTP SiC offre une résistance à la chaleur et une uniformité thermique supérieures, ce qui en fait la solution idéale pour les applications de traitement de tranches de semi-conducteurs. Avec son graphite revêtu de SiC de haute qualité, ce produit est conçu pour résister aux environnements de dépôt les plus difficiles pour la croissance épitaxiale. La conductivité thermique élevée et les excellentes propriétés de distribution de la chaleur garantissent des performances fiables pour le nettoyage RTA, RTP ou chimique agressif.
Notre support de revêtement RTP SiC est conçu pour résister aux conditions les plus difficiles de l'environnement de dépôt. Avec sa résistance élevée à la chaleur et à la corrosion, les suscepteurs d'épitaxie sont soumis à un environnement de dépôt parfait pour la croissance épitaxiale. Le revêtement en cristal SiC fin sur le support assure une surface lisse et une grande durabilité contre le nettoyage chimique, tandis que le matériau est conçu pour éviter les fissures et le délaminage.
Chez Semicorex, nous nous concentrons sur la fourniture d'un support de revêtement RTP SiC de haute qualité et rentable, nous donnons la priorité à la satisfaction du client et fournissons des solutions rentables. Nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme, offrant des produits de haute qualité et un service client exceptionnel.
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Paramètres du support de revêtement RTP SiC
Principales caractéristiques du revêtement CVD-SIC |
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Propriétés SiC-CVD |
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Structure en cristal |
Phase β FCC |
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Densité |
g/cm³ |
3.21 |
Dureté |
Dureté Vickers |
2500 |
Taille d'un grain |
μm |
2~10 |
Pureté chimique |
% |
99.99995 |
Capacité thermique |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
Température de sublimation |
℃ |
2700 |
Force Felexurale |
MPa (RT 4 points) |
415 |
Module de Young |
Gpa (pli 4pt, 1300â) |
430 |
Dilatation Thermique (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Conductivité thermique |
(W/mK) |
300 |
Caractéristiques du support de revêtement RTP SiC
Graphite recouvert de SiC de haute pureté
Résistance à la chaleur supérieure et uniformité thermique
Cristal de SiC fin enduit pour une surface lisse
Haute durabilité contre le nettoyage chimique
Le matériau est conçu pour éviter les fissures et le délaminage.