Chine Composants semi-conducteurs fabricants, fournisseurs, usine

En tant que fabricant professionnel, nous aimerions vous fournir des composants semi-conducteurs. Semicorex est votre partenaire pour améliorer le traitement des semi-conducteurs. Nos revêtements en carbure de silicium sont denses, résistants aux hautes températures et aux produits chimiques, qui sont souvent utilisés dans l'ensemble du cycle de fabrication des semi-conducteurs, y compris le traitement des tranches et des tranches de semi-conducteurs et la fabrication des semi-conducteurs.

Les composants revêtus de SiC de haute pureté sont cruciaux pour les processus dans le semi-conducteur. Notre offre s'étend des consommables en graphite pour les zones chaudes de croissance des cristaux (réchauffeurs, suscepteurs de creuset, isolation), aux composants en graphite de haute précision pour les équipements de traitement des plaquettes, tels que les suscepteurs en graphite revêtus de carbure de silicium pour l'épitaxie ou le MOCVD.

Avantages pour les procédés semi-conducteurs

Les phases de dépôt de couches minces telles que l'épitaxie ou le MOCVD, ou le traitement de manipulation de tranches telles que la gravure ou l'implantation ionique doivent supporter des températures élevées et un nettoyage chimique agressif. Semicorex fournit une construction en graphite revêtue de carbure de silicium (SiC) de haute pureté offrant une résistance à la chaleur supérieure et une résistance chimique durable, même une uniformité thermique pour une épaisseur et une résistance constantes de la couche épi.

Couvercles de chambre â
Les couvercles de chambre utilisés dans la croissance des cristaux et le traitement de la manipulation des tranches doivent supporter des températures élevées et un nettoyage chimique agressif.

Effecteur terminal â
L'effecteur terminal est la main du robot qui déplace les tranches de semi-conducteur entre les positions dans l'équipement de traitement des tranches et les supports.

Anneaux d'entrée â
Anneau d'entrée de gaz revêtu de SiC par équipement MOCVD La croissance du composé a une résistance élevée à la chaleur et à la corrosion, qui a une grande stabilité dans un environnement extrême.

Bague de mise au point â
Semicorex fournit une bague de mise au point revêtue de carbure de silicium très stable pour le nettoyage RTA, RTP ou chimique agressif.

Mandrin Wafer â
Les mandrins de plaquettes sous vide en céramique ultra-plats Semicorex sont revêtus de SiC de haute pureté utilisés dans le processus de manipulation des plaquettes.