Anneaux extérieurs en Poly-Si pour gravure

Généralement positionné autour dupomme de douche, l'anneau extérieur en Poly-Si fait office de pièce de liaison entre l'anneau d'échappement et la pomme de douche. Il travaille en coopération avec lemandrin électrostatique, la pomme de douche en Si, la bague de mise au point en Si, la bague d'échappement en Si et la bague de blindage en Si, créant un environnement de processus stable et fiable pour une opération de gravure de haute précision.

Avantages des anneaux extérieurs Semicorex poly-Si pour la gravure

Les anneaux extérieurs Semicorex poly-Si pour la gravure sont fabriqués avec précision à partir de polysilicium de haute qualité, offrant les excellentes performances suivantes.

1. Haute propreté et faible teneur en particules

2. Résistance supérieure aux hautes températures et résistance élevée aux chocs thermiques

3. Résistance à la corrosion fiable

4. Performances électriques exceptionnelles et uniformité de conductivité électrique élevée

Fonctions des anneaux extérieurs Semicorex poly-Si pour la gravure

1. Performances de mise à la terre stables

Utilisés pour la mise à la terre et la protection des électrodes, les anneaux extérieurs Semicorex poly-Si pour la gravure sont capables d'éviter l'accumulation statique ainsi que les dommages causés par l'arc et d'assurer un fonctionnement stable du système d'électrodes, répondant parfaitement aux exigences du processus de fabrication NAND 3D avancée.

2. Assistance fiable

Les anneaux extérieurs Semicorex poly-Si pour la gravure servent de composants essentiels reliant l'anneau d'échappement et la pomme de douche. Ils fournissent un support mécanique fiable aux deux pièces et les maintiennent stablement positionnées à l'endroit approprié. De plus, l'utilisation d'anneaux extérieurs Semicorex poly-Si pour la gravure peut empêcher l'érosion par plasma sur la chambre de gravure, ce qui garantit ainsi efficacement l'exécution stable de l'opération de gravure.

3. Compatibilité avec le procédé de gravure

Les anneaux extérieurs Semicorex poly-Si pour la gravure présentent une faible teneur en impuretés et une résistance exceptionnelle à la corrosion, offrant une excellente compatibilité avec la fabrication de tranches de silicium, ce qui réduit considérablement les défauts des tranches causés par la contamination des sous-produits gravés et garantit de manière significative un taux de rendement élevé dans la production de semi-conducteurs.