Disque de plaquette recouvert de SiC

La base du disque de plaquette à revêtement SiC Semicorex est constituée de graphite de haute qualité, savamment recouvert de SiC par dépôt chimique en phase vapeur (CVD). Cette construction avancée offre une résistance exceptionnelle aux chocs thermiques et à la dégradation chimique, prolongeant considérablement la durée de vie du disque Wafer recouvert de SiC et garantissant des performances fiables tout au long du processus de fabrication des semi-conducteurs.

Notamment, le disque de plaquette recouvert de SiC excelle en termes de conductivité thermique, ce qui est essentiel pour une dissipation efficace de la chaleur lors de la fabrication des semi-conducteurs. Cette fonctionnalité minimise les gradients thermiques sur la surface de la tranche, favorisant ainsi une répartition uniforme de la température, essentielle pour obtenir les caractéristiques souhaitées du semi-conducteur.

Le revêtement SiC offre une protection robuste contre la corrosion chimique et les chocs thermiques, préservant l'intégrité du disque gaufré recouvert de SiC même dans des environnements de processus difficiles. Cette durabilité améliorée se traduit par une durée de vie opérationnelle plus longue et une réduction des temps d'arrêt, contribuant ainsi à accroître la productivité et la rentabilité dans les installations de fabrication de semi-conducteurs.

De plus, le disque de plaquette recouvert de SiC peut être personnalisé pour répondre à des exigences et préférences spécifiques. Nous proposons des options de personnalisation allant des ajustements de taille aux variations d'épaisseur du revêtement, permettant une flexibilité de conception qui optimise les performances pour différentes applications et paramètres de processus.