Suscepteur SiC Epi-Wafer

Semicorex est un fabricant et fournisseur à grande échelle de suscepteur en graphite revêtu de carbure de silicium en Chine. Nous nous concentrons sur les industries des semi-conducteurs telles que les couches de carbure de silicium et les semi-conducteurs d'épitaxie. Notre suscepteur SiC Epi-Wafer a un bon avantage de prix et couvre de nombreux marchés européens et américains. Nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme.

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Description du produit

Semicorex fournit le SiC Epi-Wafer Susceptor revêtu de MOCVD utilisé pour supporter les wafers. Leur construction en graphite revêtu de carbure de silicium (SiC) de haute pureté offre une résistance à la chaleur supérieure, une uniformité thermique uniforme pour une épaisseur et une résistance constantes de la couche épi et une résistance chimique durable. Le revêtement en cristal SiC fin offre une surface propre et lisse, essentielle pour la manipulation puisque les plaquettes vierges entrent en contact avec le suscepteur en de nombreux points sur toute leur surface.
Notre suscepteur SiC Epi-Wafer est conçu pour obtenir le meilleur schéma d'écoulement de gaz laminaire, assurant l'uniformité du profil thermique. Cela permet d'éviter toute contamination ou diffusion d'impuretés, assurant une croissance épitaxiale de haute qualité sur la puce de plaquette.
Contactez-nous dès aujourd'hui pour en savoir plus sur notre suscepteur SiC Epi-Wafer.

Paramètres du suscepteur SiC Epi-Wafer

Principales caractéristiques du revêtement CVD-SIC
Propriétés SiC-CVD
Structure en cristal	Phase β FCC
Densité	g/cm³	3.21
Dureté	Dureté Vickers	2500
Taille d'un grain	μm	2~10
Pureté chimique	%	99.99995
Capacité thermique	J·kg-1 ·K-1	640
Température de sublimation	℃	2700
Force Felexurale	MPa (RT 4 points)	415
Module de Young	Gpa (pli 4pt, 1300â)	430
Dilatation Thermique (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Conductivité thermique	(W/mK)	300

Caractéristiques du suscepteur SiC Epi-Wafer

Graphite recouvert de SiC de haute pureté
Résistance à la chaleur supérieure et uniformité thermique
Cristal de SiC fin enduit pour une surface lisse
Haute durabilité contre le nettoyage chimique
Le matériau est conçu pour éviter les fissures et le délaminage.