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Semicorex est votre partenaire pour l'amélioration du traitement des semi-conducteurs. Nos revêtements en carbure de silicium sont denses, résistants aux températures élevées et aux produits chimiques, et sont souvent utilisés dans tout le cycle de fabrication des semi-conducteurs, y compris le traitement des plaquettes de semi-conducteurs et la fabrication des semi-conducteurs.

Les composants céramiques SiC de haute pureté sont essentiels aux processus dans les semi-conducteurs. Notre offre s'étend des pièces consommables pour les équipements de traitement de plaquettes, telles que les bateaux à plaquettes en carbure de silicium, les palettes en porte-à-faux, les tubes, etc. pour l'épitaxie ou le MOCVD.


Avantages pour les procédés semi-conducteurs

Les phases de dépôt de couches minces telles que l'épitaxie ou le MOCVD, ou les traitements de manipulation de plaquettes tels que la gravure ou l'implantation ionique doivent supporter des températures élevées et un nettoyage chimique agressif. Semicorex fournit une construction en carbure de silicium (SiC) de haute pureté offrant une résistance thermique supérieure et une résistance chimique durable, ainsi qu'une uniformité thermique uniforme pour une épaisseur et une résistance constantes de la couche épi.


Couvercles de chambre →
Les couvercles de chambre utilisés dans le traitement de la croissance cristalline et de la manipulation des plaquettes doivent résister à des températures élevées et à un nettoyage chimique agressif.


Pagaie en porte-à-faux →
La palette en porte-à-faux est un composant crucial utilisé dans les processus de fabrication de semi-conducteurs, en particulier dans les fours de diffusion ou LPCVD lors de processus tels que la diffusion et le RTP.


Tube de traitement →
Process Tube est un composant crucial, spécifiquement conçu dans diverses applications de traitement de semi-conducteurs telles que RTP et diffusion.


Bateaux à plaquettes →
Wafer Boat est utilisé dans le traitement des semi-conducteurs, il a été méticuleusement conçu pour garantir la sécurité des plaquettes délicates pendant les étapes critiques de la production.


Anneaux d'entrée →
Anneau d'entrée de gaz recouvert de SiC par équipement MOCVD. La croissance du composé présente une résistance élevée à la chaleur et à la corrosion, ce qui présente une grande stabilité dans un environnement extrême.


Bague de mise au point →
Semicorex fournit une bague de mise au point recouverte de carbure de silicium qui est vraiment stable pour le RTA, le RTP ou le nettoyage chimique agressif.


Mandrin à plaquettes →
Les mandrins de plaquettes sous vide en céramique ultra-plats Semicorex sont recouverts de SiC de haute pureté et utilisés dans le processus de manipulation des plaquettes.


Semicorex propose également des produits céramiques en alumine (Al2O3), nitrure de silicium (Si3N4), nitrure d'aluminium (AIN), zircone (ZrO2), céramique composite, etc.


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Tube de four à diffusion

Tube de four à diffusion

Le tube du four à diffusion Semicorex est un composant crucial de l'équipement de fabrication de semi-conducteurs, spécialement conçu pour faciliter les réactions précises et contrôlées essentielles aux processus de fabrication de semi-conducteurs. En tant que récipient principal dans la zone de réaction d'un four à semi-conducteur, le tube du four à diffusion joue un rôle central pour garantir l'intégrité et la qualité des dispositifs semi-conducteurs produits. Semicorex s'engage à fournir des produits de qualité à des prix compétitifs, nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine.

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Revêtements de tubes de traitement SiC

Revêtements de tubes de traitement SiC

Les revêtements de tubes de traitement Semicorex SiC (carbure de silicium) sont des composants cruciaux dans la production de semi-conducteurs dans des environnements qui nécessitent des températures et des niveaux de pureté élevés. Ces revêtements de tubes SiC Process sont spécialement conçus pour supporter des conditions thermiques extrêmes et maintenir des niveaux élevés de pureté afin de garantir que le processus de fabrication des semi-conducteurs n'est pas compromis. Semicorex s'engage à fournir des produits de qualité à des prix compétitifs, nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine.

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Pagaie en porte-à-faux SiC

Pagaie en porte-à-faux SiC

La palette en porte-à-faux Semicorex SiC (carbure de silicium) est un composant crucial utilisé dans les processus de fabrication de semi-conducteurs, en particulier dans les fours de diffusion ou LPCVD (dépôt chimique en phase vapeur à basse pression) lors de processus tels que la diffusion et le RTP (Rapid Thermal Processing). La palette en porte-à-faux SiC est destinée à transporter les tranches de semi-conducteurs en toute sécurité dans le tube de traitement pendant divers processus à haute température tels que la diffusion et le RTP. Il sert à supporter et à transporter les plaquettes dans le tube de traitement de ces fours. Semicorex s'engage à fournir des produits de qualité à des prix compétitifs, nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine.

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Bateau à plaquettes vertical

Bateau à plaquettes vertical

Semicorex Vertical Wafer Boat représente un composant crucial dans le traitement des semi-conducteurs, conçu pour loger et transporter en toute sécurité des plaquettes de silicium délicates tout au long des différentes étapes de fabrication. Fabriqués à partir de carbure de silicium (SiC), un matériau robuste et thermiquement stable réputé pour ses propriétés exceptionnelles dans des environnements difficiles, ces bateaux garantissent l'intégrité et la sécurité des plaquettes pendant le traitement. Semicorex s'engage à fournir des produits de qualité à des prix compétitifs, nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine.

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Main de transfert de plaquettes SiC

Main de transfert de plaquettes SiC

Semicorex SiC Wafer Transfer Hand constitue la pierre angulaire de l’automatisation du processus de fabrication de semi-conducteurs, servant d’outil robotique sophistiqué pour la manipulation précise et efficace des plaquettes de semi-conducteurs. Semicorex s'engage à fournir des produits de qualité à des prix compétitifs, nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine.

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Doigt SiC

Doigt SiC

Semicorex SiC Finger constitue un composant crucial dans le traitement des semi-conducteurs et fonctionne comme un outil de transfert de tranches. En forme de doigt, cet appareil spécialisé est méticuleusement fabriqué à partir de carbure de silicium (SiC), un matériau réputé pour sa résistance mécanique exceptionnelle, sa stabilité thermique et sa résistance aux environnements chimiques difficiles. Semicorex s'engage à fournir des produits de qualité à des prix compétitifs, nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine.

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Semicorex produit Céramique depuis de nombreuses années et est l'un des fabricants et fournisseurs professionnels de Céramique en Chine. Une fois que vous avez acheté nos produits avancés et durables qui fournissent un emballage en vrac, nous garantissons la grande quantité dans une livraison rapide. Au fil des ans, nous avons fourni à nos clients un service personnalisé. Les clients sont satisfaits de nos produits et de notre excellent service. Nous sommes sincèrement impatients de devenir votre partenaire commercial fiable à long terme ! Bienvenue pour acheter des produits de notre usine.
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