Semicorex est votre partenaire pour l'amélioration du traitement des semi-conducteurs. Nos revêtements en carbure de silicium sont denses, résistants aux températures élevées et aux produits chimiques, et sont souvent utilisés dans tout le cycle de fabrication des semi-conducteurs, y compris le traitement des plaquettes de semi-conducteurs et la fabrication des semi-conducteurs.
Les composants céramiques SiC de haute pureté sont essentiels aux processus dans les semi-conducteurs. Notre offre s'étend des pièces consommables pour les équipements de traitement de plaquettes, telles que les bateaux à plaquettes en carbure de silicium, les palettes en porte-à-faux, les tubes, etc. pour l'épitaxie ou le MOCVD.
Avantages pour les procédés semi-conducteurs
Les phases de dépôt de couches minces telles que l'épitaxie ou le MOCVD, ou les traitements de manipulation de plaquettes tels que la gravure ou l'implantation ionique doivent supporter des températures élevées et un nettoyage chimique agressif. Semicorex fournit une construction en carbure de silicium (SiC) de haute pureté offrant une résistance thermique supérieure et une résistance chimique durable, ainsi qu'une uniformité thermique uniforme pour une épaisseur et une résistance constantes de la couche épi.
Couvercles de chambre →
Les couvercles de chambre utilisés dans le traitement de la croissance cristalline et de la manipulation des plaquettes doivent résister à des températures élevées et à un nettoyage chimique agressif.
Pagaie en porte-à-faux →
La palette en porte-à-faux est un composant crucial utilisé dans les processus de fabrication de semi-conducteurs, en particulier dans les fours de diffusion ou LPCVD lors de processus tels que la diffusion et le RTP.
Tube de traitement →
Process Tube est un composant crucial, spécifiquement conçu dans diverses applications de traitement de semi-conducteurs telles que RTP et diffusion.
Bateaux à plaquettes →
Wafer Boat est utilisé dans le traitement des semi-conducteurs, il a été méticuleusement conçu pour garantir la sécurité des plaquettes délicates pendant les étapes critiques de la production.
Anneaux d'entrée →
Anneau d'entrée de gaz recouvert de SiC par équipement MOCVD. La croissance du composé présente une résistance élevée à la chaleur et à la corrosion, ce qui présente une grande stabilité dans un environnement extrême.
Bague de mise au point →
Semicorex fournit une bague de mise au point recouverte de carbure de silicium qui est vraiment stable pour le RTA, le RTP ou le nettoyage chimique agressif.
Mandrin à plaquettes →
Les mandrins de plaquettes sous vide en céramique ultra-plats Semicorex sont recouverts de SiC de haute pureté et utilisés dans le processus de manipulation des plaquettes.
Semicorex propose également des produits céramiques en alumine (Al2O3), nitrure de silicium (Si3N4), nitrure d'aluminium (AIN), zircone (ZrO2), céramique composite, etc.
Buse en céramique de zircone Semicorex, fabriquée avec une attention méticuleuse aux détails, cette buse est la quintessence de l'excellence dans le contrôle du débit des gaz et des liquides avec une uniformité et une précision inégalées. Semicorex s'engage à fournir des produits de qualité à des prix compétitifs, nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine.
En savoir plusenvoyer une demandeLe mandrin en céramique de nitrure d'aluminium Semicorex représente une solution de pointe pour le traitement des plaquettes de semi-conducteurs, spécialement conçue pour maintenir solidement les plaquettes en place pendant les différentes étapes de fabrication. Fonctionnant comme un mandrin électrostatique (ESC), ce dispositif innovant exploite les propriétés exceptionnelles de la céramique de nitrure d'aluminium pour garantir une rétention précise et fiable des plaquettes. Semicorex s'engage à fournir des produits de qualité à des prix compétitifs, nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine.
En savoir plusenvoyer une demandeVous pouvez être assuré d’acheter un support de plaquette en nitrure d’aluminium dans notre usine. Le support de plaquette en nitrure d'aluminium (AlN) Semicorex est un composant indispensable dans le domaine du traitement des semi-conducteurs, servant de plate-forme essentielle pour maintenir en toute sécurité les plaquettes délicates tout au long des différentes étapes de fabrication. Fabriqué à partir d'un matériau en nitrure d'aluminium de haute qualité, réputé pour sa conductivité thermique, sa résistance mécanique et ses propriétés d'isolation électrique exceptionnelles, ce support de plaquette garantit des conditions optimales pour des processus de fabrication de semi-conducteurs précis et efficaces. Semicorex s'engage à fournir des produits de qualité à des prix compétitifs, nous s......
En savoir plusenvoyer une demandeLe roulement en nitrure de silicium Semicorex représente le summum de l'excellence en ingénierie, offrant des performances et une fiabilité inégalées dans un large éventail d'applications industrielles. Réputés pour leur résistance, leur durabilité et leur polyvalence exceptionnelles, les roulements en nitrure de silicium sont devenus le choix privilégié dans divers secteurs, de l'aérospatiale à l'automobile en passant par le médical et la fabrication. Semicorex s'engage à fournir des produits de qualité à des prix compétitifs, nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine.
En savoir plusenvoyer une demandeLe disque en nitrure de silicium Semicorex représente le summum de l'innovation en science des matériaux, combinant les propriétés exceptionnelles du silicium et de l'azote sous une forme en forme de disque polyvalente et robuste. Fabriqué selon des processus de fabrication avancés, ce disque en nitrure de silicium incarne une stabilité thermique élevée, une résistance mécanique supérieure, une résistance à l'usure remarquable et une excellente inertie chimique. Semicorex s'engage à fournir des produits de qualité à des prix compétitifs, nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine.
En savoir plusenvoyer une demandeSemicorex Alumina Chuck est un outil essentiel dans le traitement des semi-conducteurs, méticuleusement fabriqué à partir de céramique d'alumine. Semicorex s'engage à fournir des produits de qualité à des prix compétitifs, nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine.
En savoir plusenvoyer une demande