Semicorex est votre partenaire pour l'amélioration du traitement des semi-conducteurs. Nos revêtements en carbure de silicium sont denses, résistants aux températures élevées et aux produits chimiques, et sont souvent utilisés dans tout le cycle de fabrication des semi-conducteurs, y compris le traitement des plaquettes de semi-conducteurs et la fabrication des semi-conducteurs.
Les composants céramiques SiC de haute pureté sont essentiels aux processus dans les semi-conducteurs. Notre offre s'étend des pièces consommables pour les équipements de traitement de plaquettes, telles que les bateaux à plaquettes en carbure de silicium, les palettes en porte-à-faux, les tubes, etc. pour l'épitaxie ou le MOCVD.
Avantages pour les procédés semi-conducteurs
Les phases de dépôt de couches minces telles que l'épitaxie ou le MOCVD, ou les traitements de manipulation de plaquettes tels que la gravure ou l'implantation ionique doivent supporter des températures élevées et un nettoyage chimique agressif. Semicorex fournit une construction en carbure de silicium (SiC) de haute pureté offrant une résistance thermique supérieure et une résistance chimique durable, ainsi qu'une uniformité thermique uniforme pour une épaisseur et une résistance constantes de la couche épi.
Couvercles de chambre →
Les couvercles de chambre utilisés dans le traitement de la croissance cristalline et de la manipulation des plaquettes doivent résister à des températures élevées et à un nettoyage chimique agressif.
Pagaie en porte-à-faux →
La palette en porte-à-faux est un composant crucial utilisé dans les processus de fabrication de semi-conducteurs, en particulier dans les fours de diffusion ou LPCVD lors de processus tels que la diffusion et le RTP.
Tube de traitement →
Process Tube est un composant crucial, spécifiquement conçu dans diverses applications de traitement de semi-conducteurs telles que RTP et diffusion.
Bateaux à plaquettes →
Wafer Boat est utilisé dans le traitement des semi-conducteurs, il a été méticuleusement conçu pour garantir la sécurité des plaquettes délicates pendant les étapes critiques de la production.
Anneaux d'entrée →
Anneau d'entrée de gaz recouvert de SiC par équipement MOCVD. La croissance du composé présente une résistance élevée à la chaleur et à la corrosion, ce qui présente une grande stabilité dans un environnement extrême.
Bague de mise au point →
Semicorex fournit une bague de mise au point recouverte de carbure de silicium qui est vraiment stable pour le RTA, le RTP ou le nettoyage chimique agressif.
Mandrin à plaquettes →
Les mandrins de plaquettes sous vide en céramique ultra-plats Semicorex sont recouverts de SiC de haute pureté et utilisés dans le processus de manipulation des plaquettes.
Semicorex propose également des produits céramiques en alumine (Al2O3), nitrure de silicium (Si3N4), nitrure d'aluminium (AIN), zircone (ZrO2), céramique composite, etc.
Les radiateurs Semicorex PBN disposent d'une conception sophistiquée à trois couches conçue pour redéfinir les références de performance. En son cœur se trouve une fondation fabriquée à partir de nitrure de bore pyrolytique (PBN) de haute pureté, réputé pour sa conductivité thermique exceptionnelle et son intégrité structurelle robuste. nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine.
En savoir plusenvoyer une demandeSemicorex Wafer Boat Carrier constitue le summum de l’innovation dans le domaine du traitement des semi-conducteurs. Fabriqué méticuleusement à partir de graphite et renforcé avec un revêtement de pointe de carbure de silicium (SiC) par dépôt chimique en phase vapeur (CVD), ce support illustre l'ingénierie de précision et la science avancée des matériaux. Semicorex s'engage à fournir des produits de qualité à des prix compétitifs, nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine.
En savoir plusenvoyer une demandeSemicorex Baffle Wafer Boat est un équipement très avancé utilisé dans le traitement des semi-conducteurs. Il a été méticuleusement conçu pour garantir la sécurité des plaquettes délicates pendant les étapes critiques de la production. Semicorex s'engage à fournir des produits de qualité à des prix compétitifs, nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine.
En savoir plusenvoyer une demandeLe mandrin à vide Semicorex SiC représente le summum de l'ingénierie de précision adapté à l'industrie exigeante des semi-conducteurs. Fabriqué à partir de substrats en graphite et amélioré grâce à des techniques de dépôt chimique en phase vapeur (CVD) de pointe, ce dispositif innovant intègre de manière transparente les propriétés inégalées du revêtement en carbure de silicium (SiC). Semicorex s'engage à fournir des produits de qualité à des prix compétitifs, nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine.
En savoir plusenvoyer une demandeSemicorex SiC Wafer Chuck constitue le summum de l'innovation dans la fabrication de semi-conducteurs, servant de composant crucial dans le processus complexe de fabrication des semi-conducteurs. Fabriqué avec une précision méticuleuse et une technologie de pointe, ce mandrin joue un rôle indispensable dans le support et la stabilisation des tranches de carbure de silicium (SiC) au cours des différentes étapes de production. Semicorex s'engage à fournir des produits de qualité à des prix compétitifs, nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine.
En savoir plusenvoyer une demandeBras robot Semicorex Zirconia ZrO2, un composant essentiel dans le traitement des semi-conducteurs pour un transfert et une manipulation fluides des plaquettes. Conçu pour résister aux exigences rigoureuses des environnements à haute température, corrosifs et abrasifs, ce bras en céramique offre une durabilité et une fiabilité inégalées. Semicorex s'engage à fournir des produits de qualité à des prix compétitifs, nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine.
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