Palettes en porte-à-faux en céramique de carbure de silicium

Semicorexpalettes en porte-à-faux en céramique de carbure de siliciumsont produits par frittage à haute température du corps vert imprimé en 3D en une seule étape, suivi du traitement de revêtement par dépôt chimique en phase vapeur. Pendant le fonctionnement réel, les palettes en porte-à-faux en céramique de carbure de silicium sont actionnées par les systèmes d'automatisation mécaniques pour transférer en douceur et régulièrement les composants porteurs de tranches vers et hors des équipements de traitement à haute température (tels que les fours d'oxydation, les fours de diffusion, les fours CVD, etc.). Ces composants en carbure de silicium peuvent garantir efficacement la précision de la concentricité entre les tranches et les tubes du four, garantissant ainsi l'uniformité et la stabilité du processus pendant les processus critiques tels que la diffusion, l'oxydation et le dépôt chimique en phase vapeur.

Les performances des palettes cantilever en céramique de carbure de silicium Semicorex

1. Faible performance en matière de pollution :

Semicorexcarbure de siliciumles pagaies en porte-à-faux en céramique, traitées avec un traitement de haute précision, atteignent les normes sans poussière et sans particules. Leurs matrices ont une teneur en impuretés strictement contrôlée en dessous de 300 ppm, et la teneur en impuretés du revêtement en carbure de silicium CVD est encore inférieure à 5 ppm.

2. Stabilité à haute température :

En raison de l'excellente résistance aux hautes températures et aux chocs thermiques du carbure de silicium, les palettes cantilever en céramique de carbure de silicium Semicorex peuvent maintenir longtemps leur stabilité structurelle à des températures élevées jusqu'à 1 250 °C, sans se déformer, se ramollir ou être endommagées par une température élevée.

3. Capacité de charge exceptionnelle :

Les palettes cantilever en céramique de carbure de silicium Semicorex offrent une capacité de charge exceptionnelle bénéficiant de leur conception structurelle unique et de leurs propriétés matérielles supérieures (résistance mécanique et dureté élevées). Cette capacité de charge exceptionnelle leur permet de supporter le poids de grands lots de tranches afin de répondre aux besoins de la production de masse, ce qui améliore efficacement l'efficacité du traitement par lots de tranches.

4. Résistance remarquable à la corrosion :

Les palettes cantilever en céramique de carbure de silicium Semicorex présentent une excellente résistance à la corrosion à l'oxygène, au chlore et à d'autres substances corrosives présentes à haute température dans les processus de fabrication de semi-conducteurs et photovoltaïques. Ces performances supérieures sont cruciales pour garantir le bon fonctionnement des processus de production en évitant les pertes et le temps causés par les dommages aux palettes cantilever en céramique de carbure de silicium.

La méthode d'emballage des palettes en porte-à-faux en céramique de carbure de silicium Semicorex