Semicorex est votre partenaire pour l'amélioration du traitement des semi-conducteurs. Nos revêtements en carbure de silicium sont denses, résistants aux températures élevées et aux produits chimiques, et sont souvent utilisés dans tout le cycle de fabrication des semi-conducteurs, y compris le traitement des plaquettes de semi-conducteurs et la fabrication des semi-conducteurs.
Les composants céramiques SiC de haute pureté sont essentiels aux processus dans les semi-conducteurs. Notre offre s'étend des pièces consommables pour les équipements de traitement de plaquettes, telles que les bateaux à plaquettes en carbure de silicium, les palettes en porte-à-faux, les tubes, etc. pour l'épitaxie ou le MOCVD.
Avantages pour les procédés semi-conducteurs
Les phases de dépôt de couches minces telles que l'épitaxie ou le MOCVD, ou les traitements de manipulation de plaquettes tels que la gravure ou l'implantation ionique doivent supporter des températures élevées et un nettoyage chimique agressif. Semicorex fournit une construction en carbure de silicium (SiC) de haute pureté offrant une résistance thermique supérieure et une résistance chimique durable, ainsi qu'une uniformité thermique uniforme pour une épaisseur et une résistance constantes de la couche épi.
Couvercles de chambre →
Les couvercles de chambre utilisés dans le traitement de la croissance cristalline et de la manipulation des plaquettes doivent résister à des températures élevées et à un nettoyage chimique agressif.
Pagaie en porte-à-faux →
La palette en porte-à-faux est un composant crucial utilisé dans les processus de fabrication de semi-conducteurs, en particulier dans les fours de diffusion ou LPCVD lors de processus tels que la diffusion et le RTP.
Tube de traitement →
Process Tube est un composant crucial, spécifiquement conçu dans diverses applications de traitement de semi-conducteurs telles que RTP et diffusion.
Bateaux à plaquettes →
Wafer Boat est utilisé dans le traitement des semi-conducteurs, il a été méticuleusement conçu pour garantir la sécurité des plaquettes délicates pendant les étapes critiques de la production.
Anneaux d'entrée →
Anneau d'entrée de gaz recouvert de SiC par équipement MOCVD. La croissance du composé présente une résistance élevée à la chaleur et à la corrosion, ce qui présente une grande stabilité dans un environnement extrême.
Bague de mise au point →
Semicorex fournit une bague de mise au point recouverte de carbure de silicium qui est vraiment stable pour le RTA, le RTP ou le nettoyage chimique agressif.
Mandrin à plaquettes →
Les mandrins de plaquettes sous vide en céramique ultra-plats Semicorex sont recouverts de SiC de haute pureté et utilisés dans le processus de manipulation des plaquettes.
Semicorex propose également des produits céramiques en alumine (Al2O3), nitrure de silicium (Si3N4), nitrure d'aluminium (AIN), zircone (ZrO2), céramique composite, etc.
La poudre fine Semicorex SiC est une poudre ultra-fine de haute qualité connue pour sa pureté exceptionnelle et sa distribution granulométrique contrôlée. Semicorex s'engage à fournir des produits de qualité à des prix compétitifs, nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine.
En savoir plusenvoyer une demandeConstruit à partir de carbure de silicium d'une pureté exceptionnelle, le bateau SiC de haute pureté Semicorex démontre une stabilité thermique, une robustesse mécanique et une résistance aux produits chimiques supérieures. Cette sélection de matériaux est essentielle pour réduire la contamination potentielle, protéger les plaquettes contre tout dommage et supporter les conditions rigoureuses rencontrées dans la fabrication des semi-conducteurs. L'engagement de Semicorex à fabriquer et à fournir des produits de qualité leader sur le marché, allié à des considérations fiscales compétitives, cimente notre désir d'établir des partenariats pour répondre à vos exigences en matière de transport de plaquettes semi-conductrices.
En savoir plusenvoyer une demandeFabriqué à partir d'un carbure de silicium d'une pureté exceptionnelle, le bateau Semicorex SiC pour la manipulation des plaquettes possède une construction qui comprend des fentes de précision pour sécuriser les plaquettes, atténuant ainsi tout mouvement pendant les procédures opérationnelles. Le choix du carbure de silicium comme matériau garantit non seulement la dureté et la résilience, mais également la capacité à supporter des températures élevées et une exposition à des produits chimiques. Cela fait du SiC Boat for Wafer Handling un composant essentiel dans une multitude d’étapes de production de semi-conducteurs, telles que la culture des cristaux, la diffusion, l’implantation ionique et les processus de gravure.
En savoir plusenvoyer une demandeLes radiateurs Semicorex PBN/PG (nitrure de bore pyrolytique/graphite pyrolytique) sont conçus à partir de matériaux céramiques avancés en nitrure de bore, méticuleusement conçus pour résister à des températures extrêmes dépassant 1 700 °C. Semicorex s'engage à fournir des produits de qualité à des prix compétitifs, nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine.
En savoir plusenvoyer une demandeLes mandrins chauffants Semicorex PBN, fabriqués à partir de céramique de nitrure de bore, sont à l'avant-garde des solutions de gestion thermique de pointe. Semicorex s'engage à fournir des produits de qualité à des prix compétitifs, nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine.
En savoir plusenvoyer une demandeLes réchauffeurs pyrolytiques au nitrure de bore Semicorex représentent le summum de la performance et de la fiabilité dans le domaine des applications à haute température. Semicorex s'engage à fournir des produits de qualité à des prix compétitifs, nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine.
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