Semicorex est votre partenaire pour l'amélioration du traitement des semi-conducteurs. Nos revêtements en carbure de silicium sont denses, résistants aux températures élevées et aux produits chimiques, et sont souvent utilisés dans tout le cycle de fabrication des semi-conducteurs, y compris le traitement des plaquettes de semi-conducteurs et la fabrication des semi-conducteurs.
Les composants céramiques SiC de haute pureté sont essentiels aux processus dans les semi-conducteurs. Notre offre s'étend des pièces consommables pour les équipements de traitement de plaquettes, telles que les bateaux à plaquettes en carbure de silicium, les palettes en porte-à-faux, les tubes, etc. pour l'épitaxie ou le MOCVD.
Avantages pour les procédés semi-conducteurs
Les phases de dépôt de couches minces telles que l'épitaxie ou le MOCVD, ou les traitements de manipulation de plaquettes tels que la gravure ou l'implantation ionique doivent supporter des températures élevées et un nettoyage chimique agressif. Semicorex fournit une construction en carbure de silicium (SiC) de haute pureté offrant une résistance thermique supérieure et une résistance chimique durable, ainsi qu'une uniformité thermique uniforme pour une épaisseur et une résistance constantes de la couche épi.
Couvercles de chambre →
Les couvercles de chambre utilisés dans le traitement de la croissance cristalline et de la manipulation des plaquettes doivent résister à des températures élevées et à un nettoyage chimique agressif.
Pagaie en porte-à-faux →
La palette en porte-à-faux est un composant crucial utilisé dans les processus de fabrication de semi-conducteurs, en particulier dans les fours de diffusion ou LPCVD lors de processus tels que la diffusion et le RTP.
Tube de traitement →
Process Tube est un composant crucial, spécifiquement conçu dans diverses applications de traitement de semi-conducteurs telles que RTP et diffusion.
Bateaux à plaquettes →
Wafer Boat est utilisé dans le traitement des semi-conducteurs, il a été méticuleusement conçu pour garantir la sécurité des plaquettes délicates pendant les étapes critiques de la production.
Anneaux d'entrée →
Anneau d'entrée de gaz recouvert de SiC par équipement MOCVD. La croissance du composé présente une résistance élevée à la chaleur et à la corrosion, ce qui présente une grande stabilité dans un environnement extrême.
Bague de mise au point →
Semicorex fournit une bague de mise au point recouverte de carbure de silicium qui est vraiment stable pour le RTA, le RTP ou le nettoyage chimique agressif.
Mandrin à plaquettes →
Les mandrins de plaquettes sous vide en céramique ultra-plats Semicorex sont recouverts de SiC de haute pureté et utilisés dans le processus de manipulation des plaquettes.
Semicorex propose également des produits céramiques en alumine (Al2O3), nitrure de silicium (Si3N4), nitrure d'aluminium (AIN), zircone (ZrO2), céramique composite, etc.
La plaque Semicorex SiC ICP est un composant semi-conducteur avancé spécialement conçu pour répondre aux exigences rigoureuses des processus modernes de fabrication de semi-conducteurs. Ce produit haute performance est conçu avec la dernière technologie de matériaux en carbure de silicium (SiC), offrant une durabilité, une efficacité et une fiabilité inégalées, ce qui en fait un composant essentiel dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs de pointe. Semicorex s'engage à fournir des produits de qualité à des prix compétitifs, nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine*.
En savoir plusenvoyer une demandeLa plaque de gravure Semicorex SiC ICP est un composant avancé et indispensable dans l'industrie des semi-conducteurs, conçu pour améliorer la précision et l'efficacité des processus de gravure. Semicorex s'engage à fournir des produits de qualité à des prix compétitifs, nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine*.
En savoir plusenvoyer une demandeL'effecteur final en alumine Semicorex est devenu un outil indispensable dans le domaine exigeant de la fabrication de semi-conducteurs, où même des imperfections microscopiques peuvent compromettre les performances du dispositif, le rôle de la manipulation précise des plaquettes ne peut être surestimé. L'effecteur final en alumine offre une combinaison unique de précision, de pureté et de durabilité, essentielle pour manipuler des tranches de silicium délicates tout au long de divers processus de fabrication.**
En savoir plusenvoyer une demandeLa palette en porte-à-faux Semicorex Custom SiC est devenue un composant indispensable dans l'industrie photovoltaïque, jouant un rôle essentiel dans la manipulation efficace et précise des plaquettes de silicium pendant les processus de diffusion à haute température. La palette en porte-à-faux SiC personnalisée, méticuleusement conçue à partir de céramiques de carbure de silicium (SiC) hautes performances, offre un mélange unique de propriétés essentielles pour maintenir l'intégrité des plaquettes, garantir l'uniformité des processus et maximiser la productivité dans les environnements exigeants des fours de diffusion.**
En savoir plusenvoyer une demandeLe roulement Semicorex SiC, avec sa dureté, sa résistance et son inertie chimique exceptionnelles, est devenu un matériau de base pour l'ingénierie d'applications exigeantes dans diverses industries. Lorsqu'il est intégré aux roulements, le SiC ouvre un nouveau niveau de performance et de fiabilité, en particulier dans les environnements caractérisés par des températures extrêmes, des substances corrosives et des exigences de pureté strictes. Chez Semicorex, nous nous engageons à fabriquer et à fournir des roulements SiC hautes performances qui allient qualité et rentabilité.**
En savoir plusenvoyer une demandeLa bague d'étanchéité en carbure de silicium Semicorex est devenue une technologie essentielle dans l'industrie des semi-conducteurs, offrant des performances et une fiabilité inégalées face à des conditions de processus de plus en plus exigeantes. Leur combinaison unique de propriétés matérielles les rend idéaux pour une large gamme d'applications, garantissant une disponibilité optimale des équipements, des cycles de vie prolongés des composants et, en fin de compte, un coût total de possession inférieur. Chez Semicorex, nous nous engageons à fabriquer et à fournir des bagues d'étanchéité en carbure de silicium haute performance. qui allie qualité et rentabilité.**
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