Palettes en porte-à-faux en carbure de silicium

Les palettes en porte-à-faux en carbure de silicium Semicorex sont généralement utilisées avec des bateaux à plaquettes horizontaux dans les fours de traitement à haute température. Ils peuvent assurer un transfert précis et fluide des bateaux de plaquettes dans et hors des tubes du four, fournissant ainsi un soutien solide pour la stabilité et le rendement de la fabrication de semi-conducteurs. Spécialement conçues pour le traitement des plaquettes à haute température, les palettes cantilever en carbure de silicium Semicorex fonctionnent de manière constante à environ 1 250 °C dans une atmosphère de travail difficile composée d'oxygène (gaz de réaction), d'azote (gaz protecteur) et d'une petite quantité de chlorure d'hydrogène.

Sélection de matériaux de haute qualité

Les produits haut de gamme reposent sur des matières premières de qualité. Semicorex adopte une matière première en carbure de silicium de haute pureté pour garantir que nos palettes en porte-à-faux en carbure de silicium sont de la plus haute qualité dans l'ensemble de l'industrie. Leurs bases sont constituées de carbure de silicium lié par réaction de haute qualité avec une teneur en impuretés contrôlée en dessous de 100 ppm et leurs surfaces sont recouvertes d'un revêtement CVD SiC où les impuretés sont maintenues en dessous de 1 ppm. Ce matériau de haute qualité qui fabrique des palettes en porte-à-faux en carbure de silicium Semicorex offre d'excellentes propriétés répertoriées ci-dessous.

1. Ultra-haute propreté :Semicorexcarbure de siliciumles palettes en porte-à-faux sont d'une grande pureté et ne libèrent pas d'impuretés indésirables pendant le fonctionnement, éliminant ainsi fondamentalement la contamination des plaquettes et des fours de traitement.

2. Stabilité thermique stable :Les palettes en porte-à-faux en carbure de silicium Semicorex fonctionnent de manière fiable à 1 250 °C et supportent des changements brusques de température à l'entrée et à la sortie du four, sans aucune déformation ou fissuration.

3. Résistance mécanique supérieure :Les palettes en porte-à-faux en carbure de silicium Semicorex offrent une dureté et une résistance élevées et peuvent supporter l'usure et les rayures lors d'opérations fréquentes de poussée et de traction.

4. Résistance fiable à la corrosion :Semicorexpalettes en porte-à-faux en carbure de siliciumpeuvent résister à une corrosion sévère par des alcalis et des acides forts grâce à leur remarquable stabilité chimique.

Conception réfléchie et usinage de précision

Semicorexutilise la technologie d'impression 3D intégrée pour former des palettes en porte-à-faux en carbure de silicium, ce qui leur permet de se libérer des points de contrainte faibles au niveau des joints, offrant ainsi une capacité de charge fiable pendant le fonctionnement. Il prend également en charge la personnalisation pleine dimensionnelle des palettes cantilever en carbure de silicium. Les palettes en porte-à-faux peuvent être adaptées avec précision en termes de longueur, de structure et de spécifications d'interface et sont disponibles pour s'adapter parfaitement aux diamètres des tubes de four, aux dimensions des bateaux de plaquettes, aux systèmes de chargement automatisés et aux exigences spécifiques du processus.