Semicorex est votre partenaire pour l'amélioration du traitement des semi-conducteurs. Nos revêtements en carbure de silicium sont denses, résistants aux températures élevées et aux produits chimiques, et sont souvent utilisés dans tout le cycle de fabrication des semi-conducteurs, y compris le traitement des plaquettes de semi-conducteurs et la fabrication des semi-conducteurs.
Les composants céramiques SiC de haute pureté sont essentiels aux processus dans les semi-conducteurs. Notre offre s'étend des pièces consommables pour les équipements de traitement de plaquettes, telles que les bateaux à plaquettes en carbure de silicium, les palettes en porte-à-faux, les tubes, etc. pour l'épitaxie ou le MOCVD.
Avantages pour les procédés semi-conducteurs
Les phases de dépôt de couches minces telles que l'épitaxie ou le MOCVD, ou les traitements de manipulation de plaquettes tels que la gravure ou l'implantation ionique doivent supporter des températures élevées et un nettoyage chimique agressif. Semicorex fournit une construction en carbure de silicium (SiC) de haute pureté offrant une résistance thermique supérieure et une résistance chimique durable, ainsi qu'une uniformité thermique uniforme pour une épaisseur et une résistance constantes de la couche épi.
Couvercles de chambre →
Les couvercles de chambre utilisés dans le traitement de la croissance cristalline et de la manipulation des plaquettes doivent résister à des températures élevées et à un nettoyage chimique agressif.
Pagaie en porte-à-faux →
La palette en porte-à-faux est un composant crucial utilisé dans les processus de fabrication de semi-conducteurs, en particulier dans les fours de diffusion ou LPCVD lors de processus tels que la diffusion et le RTP.
Tube de traitement →
Process Tube est un composant crucial, spécifiquement conçu dans diverses applications de traitement de semi-conducteurs telles que RTP et diffusion.
Bateaux à plaquettes →
Wafer Boat est utilisé dans le traitement des semi-conducteurs, il a été méticuleusement conçu pour garantir la sécurité des plaquettes délicates pendant les étapes critiques de la production.
Anneaux d'entrée →
Anneau d'entrée de gaz recouvert de SiC par équipement MOCVD. La croissance du composé présente une résistance élevée à la chaleur et à la corrosion, ce qui présente une grande stabilité dans un environnement extrême.
Bague de mise au point →
Semicorex fournit une bague de mise au point recouverte de carbure de silicium qui est vraiment stable pour le RTA, le RTP ou le nettoyage chimique agressif.
Mandrin à plaquettes →
Les mandrins de plaquettes sous vide en céramique ultra-plats Semicorex sont recouverts de SiC de haute pureté et utilisés dans le processus de manipulation des plaquettes.
Semicorex propose également des produits céramiques en alumine (Al2O3), nitrure de silicium (Si3N4), nitrure d'aluminium (AIN), zircone (ZrO2), céramique composite, etc.
La plaque de gravure Semicorex ICP est un composant avancé et hautes performances spécialement conçu pour les applications de semi-conducteurs, fabriqué à partir d'un matériau en carbure de silicium (SiC). Semicorex s'engage à fournir des produits de qualité à des prix compétitifs, nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine*.
En savoir plusenvoyer une demandeLe réflecteur Semicorex SiC est un élément essentiel dans divers processus de fabrication de semi-conducteurs. Semicorex s'engage à fournir des produits de qualité à des prix compétitifs, nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine*.
En savoir plusenvoyer une demandeLes plaques de transfert de chaleur en céramique Semicorex SiC, basées sur le SiC comme matériau principal, subissent un frittage à haute température à 2 250 °C, ce qui donne un corps en céramique dense hautement vitrifié et sans porosité avec une teneur en SiC ≥ 99,3 %. Présentant une résistance à la flexion de ≥410MPa et une conductivité thermique de 140W/m.k, ces céramiques sont les seuls matériaux capables de résister à la corrosion des acides forts tels que l'acide fluorhydrique (HF) et l'acide sulfurique (H2SO4) dans l'industrie des semi-conducteurs. Chez Semicorex, nous nous engageons à fabriquer et à fournir des plaques de transfert de chaleur en céramique SiC hautes performances qui allient qualité et rentabilité. **
En savoir plusenvoyer une demandeLes pièces structurelles en céramique de carbure de silicium Semicorex, obtenues à partir de grains de carbure de silicium liés ensemble par frittage, sont largement utilisées dans les secteurs de l'automobile, de la mécanique, de la chimie, des semi-conducteurs, de la technologie spatiale, de la microélectronique et de l'énergie, remplissant des rôles essentiels dans diverses applications dans ces industries. En raison de leurs propriétés remarquables, les pièces structurelles en céramique de carbure de silicium sont devenues un matériau idéal pour les conditions difficiles caractérisées par des températures élevées, des pressions élevées, de la corrosion et de l'abrasion, offrant des performances fiables et une longévité dans des environnements opérationnels difficiles.**
En savoir plusenvoyer une demandeLes brides en céramique d'alumine sont des composants techniques qui offrent des avantages substantiels, en particulier dans les environnements où la stabilité thermique, les considérations de poids et la résistance à la corrosion sont d'une importance primordiale. Ces brides sont non seulement durables et fiables, mais contribuent également à l'efficacité globale et à la rentabilité des systèmes dans lesquels elles sont utilisées. Leurs propriétés uniques en font un excellent choix pour les solutions d'ingénierie avancées dans divers secteurs industriels. Chez Semicorex, nous nous engageons à fabriquer et à fournir des brides en céramique d'alumine hautes performances qui allient qualité et rentabilité.**
En savoir plusenvoyer une demandeLe mandrin à vide Semicorex Alumina est un dispositif de maintien de précision conçu pour les applications avancées de fabrication et de recherche. Semicorex s'engage à fournir des produits de qualité à des prix compétitifs, nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine*.
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