La céramique de carbure de silicium (SiC) est un matériau céramique avancé contenant du silicium et du carbone. Les grains de carbure de silicium peuvent être liés entre eux par frittage pour former des céramiques très dures. Semicorex fournit des céramiques de carbure de silicium personnalisées selon vos besoins.
Applications
Avec les céramiques en carbure de silicium, les propriétés du matériau restent constantes jusqu'à des températures supérieures à 1 400°C. Le module d’Young élevé > 400 GPa assure une excellente stabilité dimensionnelle.
Une application typique des composants en carbure de silicium est la technologie d'étanchéité dynamique utilisant des roulements à friction et des garnitures mécaniques, par exemple dans les pompes et les systèmes d'entraînement.
Grâce à leurs propriétés avancées, les céramiques de carbure de silicium sont également idéales pour une utilisation dans l'industrie des semi-conducteurs.
Bateaux à plaquettes
Semicorex Wafer Boat est fabriqué en céramique de carbure de silicium fritté, qui présente une bonne résistance à la corrosion et une excellente résistance aux températures élevées et aux chocs thermiques. Les céramiques avancées offrent une excellente résistance thermique et une excellente durabilité du plasma tout en atténuant les particules et les contaminants pour les supports de tranches de grande capacité.
Carbure de silicium fritté par réaction
Comparé à d'autres procédés de frittage, le changement de taille du frittage par réaction pendant le processus de densification est faible et des produits aux dimensions précises peuvent être produits. Cependant, la présence d’une grande quantité de SiC dans le corps fritté aggrave les performances à haute température des céramiques SiC frittées par réaction.
Carbure de silicium fritté sans pression
Le carbure de silicium fritté sans pression (SSiC) est une céramique haute performance particulièrement légère et en même temps dure. Le SSiC se caractérise par une résistance élevée, qui reste presque constante même à des températures extrêmes.
Carbure de silicium recristallisé
Le carbure de silicium recristallisé (RSiC) est un matériau de nouvelle génération formé en mélangeant une poudre grossière de carbure de silicium de haute pureté et une poudre fine de carbure de silicium de haute activité, et après le jointoiement, un frittage sous vide à 2 450 °C pour recristalliser.
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Carbure de silicium fritté par réaction |
Carbure de silicium fritté sans pression |
Carbure de silicium recristallisé |
Propriétés typiques |
Unités |
Valeurs |
|
|
Densité apparente |
g/cm3 |
3 |
3,15 ± 0,03 |
2,60-2,70 |
Résistance à la flexion |
MPa (kpsi) |
338(49) |
380(55) |
80-90 (20°C) |
Résistance à la compression |
MPa (kpsi) |
1120(158) |
3970(560) |
> 600 |
Dureté |
Bouton |
2700 |
2800 |
/ |
Briser la ténacité |
MPa m1/2 |
4.5 |
4 |
/ |
Conductivité thermique |
W/m.k |
95 |
120 |
23 |
Coefficient de dilatation thermique |
10-6.1/°C |
5 |
4 |
4.7 |
Chaleur spécifique |
Joule/g 0k |
0.8 |
0.67 |
/ |
Température maximale de l'air |
℃ |
1200 |
1500 |
1600 |
Module d'élasticité |
Gpa |
360 |
410 |
240 |
Résistance à la flexion |
MPa (kpsi) |
338(49) |
380(55) |
80-90 (20°C) |
Semicorex fournit des céramiques de qualité semi-conducteur pour vos outils de semi-fabrication OEM et vos composants de manipulation de tranches en se concentrant sur les couches de carbure de silicium dans les industries des semi-conducteurs. Nous sommes fabricant et fournisseur de porte-wafers en céramique depuis de nombreuses années. Nos produits ont un bon avantage de prix et couvrent la plupart des marchés européens et américains. Nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine.
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En savoir plusenvoyer une demandeParfaits pour les applications de lithographie et de manipulation de plaquettes de nouvelle génération, les douilles en carbure de silicium ultra-pur Semicorex garantissent une contamination minimale et offrent des performances de durée de vie exceptionnelles. Nos produits ont un bon avantage de prix et couvrent de nombreux marchés européens et américains. Nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine.
En savoir plusenvoyer une demandeSemicorex est un fabricant et fournisseur à grande échelle de composants revêtus de carbure de silicium en Chine. Nous nous concentrons sur les industries des semi-conducteurs telles que les couches de carbure de silicium et les semi-conducteurs d'épitaxie. Notre douille en céramique a un bon avantage de prix et couvre de nombreux marchés européens et américains. Nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme.
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