Ailerons solides en carbure de silicium

Solide Semicorexailettes en carbure de siliciumsont généralement installés en tant que composants d'isolation thermique à l'intérieur des tubes de four verticaux des équipements de traitement thermique des semi-conducteurs, tels que les fours de recuit RTP et les fours à diffusion. Les ailettes en carbure de silicium solide Semicorex peuvent réguler efficacement la répartition de la température dans les fours à haute température et minimiser les dommages causés par la chaleur aux pièces d'étanchéité des portes causées par des températures élevées. Dans des conditions de fonctionnement d'oxydation humide, les ailettes en carbure de silicium solide Semicorex peuvent être utilisées pour prévenir efficacement les impacts négatifs sur les résultats du processus et les dispositifs semi-conducteurs causés par la condensation de la vapeur d'eau à des températures de processus relativement basses.

Les avantages des ailettes en carbure de silicium monobloc Semicorex

1. Excellente résistance à l’usure

CVD SiC présente une structure cristalline cubique polycristalline, avec une dureté exceptionnelle juste derrière le diamant. L'excellente résistance à l'usure des ailettes en carbure de silicium massif Semicorex est attribuée à cette propriété, ce qui leur permet de résister à l'abrasion lors de la manipulation et du remplacement.

2. Capacité de gestion thermique supérieure

CVD SiC offre une excellente résistance thermique et une stabilité à haute température, qui ne fond pas ou ne ramollit pas à des températures allant jusqu'à environ 2 000 °C et conserve sa stabilité avant la sublimation à ultra haute température. Grâce à ces caractéristiques thermiques supérieures, les ailettes en carbure de silicium massif Semicorex sont parfaitement adaptées aux conditions difficiles de traitement thermique des semi-conducteurs.

3. Ultra-haute propreté

CVD-SiCest produit sans additifs de frittage pendant le processus de dépôt. Comparé au carbure de silicium lié par réaction conventionnel, il présente une pureté beaucoup plus élevée, atteignant plus de 99,9995 %. Cela empêche efficacement la contamination par des impuretés métalliques des ailettes en carbure de silicium solide Semicorex causée par des températures élevées dans les environnements de traitement, répondant ainsi parfaitement aux exigences de propreté de la fabrication avancée de semi-conducteurs.

4. Résistance fiable à la corrosion

Les ailettes en carbure de silicium solide Semicorex peuvent résister aux gaz de traitement hautement oxydants et fortement acides utilisés dans les processus de traitement thermique des semi-conducteurs, en raison de l'inertie chimique exceptionnelle du CVD SiC à haute température. Cette résistance fiable à la corrosion prolonge efficacement leur durée de vie, réduisant ainsi les coûts de remplacement des composants.

5. Précision d'usinage précise

Pour garantir la compatibilité avec différents tubes de four, Semicorex peut personnaliser les ailettes en carbure de silicium solide selon les exigences du client en matière de diamètre, d'épaisseur, de taille de trou, de planéité et de tolérances dimensionnelles. Cette précision d'usinage de haut niveau garantit un fonctionnement stable des ailettes dans les équipements et contribue à optimiser l'efficacité globale des applications de traitement thermique des semi-conducteurs.