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Le graphite de revêtement TaC est créé en revêtant la surface d'un substrat en graphite de haute pureté d'une fine couche de carbure de tantale par un procédé exclusif de dépôt chimique en phase vapeur (CVD).



Le carbure de tantale (TaC) est un composé composé de tantale et de carbone. Il a une conductivité électrique métallique et un point de fusion exceptionnellement élevé, ce qui en fait un matériau céramique réfractaire connu pour sa résistance, sa dureté et sa résistance à la chaleur et à l'usure. Le point de fusion des carbures de tantale culmine à environ 3880 ° C en fonction de la pureté et possède l'un des points de fusion les plus élevés parmi les composés binaires. Cela en fait une alternative intéressante lorsque les demandes de température plus élevées dépassent les capacités de performance utilisées dans les processus épitaxiaux de semi-conducteurs composés tels que MOCVD et LPE.


Données matérielles du revêtement Semicorex TaC

Projets

Paramètres

Densité

14,3 (g/cm³)

Emissivité

0.3

ETC (×10-6/K)

6.3

Dureté (HK)

2000

Résistance (Ohm-cm)

1×10-5

Stabilité thermique

<2500â

Changement de dimension du graphite

-10~-20um (valeur de référence)

Épaisseur du revêtement

â¥20um valeur typique(35um±10um)



Les valeurs ci-dessus sont des valeurs typiques




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Pièces en graphite revêtues de TaC

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Les pièces en graphite à revêtement Semicorex TaC sont des composants fabriqués avec précision, spécialement conçus pour résister à l'environnement exigeant du traitement des semi-conducteurs. Semicorex s'engage à fournir des produits de qualité à des prix compétitifs, nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine.

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Couverture en graphite à revêtement TaC

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Le revêtement en graphite Semicorex TaC représente une solution de pointe dans le domaine des applications thermiques pour les processus de croissance cristalline et d'épitaxie (épi). Semicorex s'engage à fournir des produits de qualité à des prix compétitifs, nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine.

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Anneau de revêtement TaC

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L'anneau de revêtement Semicorex TaC constitue un composant essentiel dans le domaine de la croissance des monocristaux dans le domaine thermique. Fabriqué avec précision et innovation, cet anneau de guidage spécialisé joue un rôle crucial dans le processus complexe de production de matériaux monocristallins. Semicorex s'engage à fournir des produits de qualité à des prix compétitifs, nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine.

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Récepteur de plaquette à revêtement TaC

Récepteur de plaquette à revêtement TaC

Le suscepteur de plaquette revêtue de Semicorex TaC est un composant crucial utilisé dans les fours de dépôt chimique en phase vapeur organométallique (MOCVD) pour le traitement épitaxial (épi) des semi-conducteurs. Semicorex s'engage à fournir des produits de qualité à des prix compétitifs, nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine.

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Plaque revêtue de carbure de tantale TaC

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La plaque revêtue de carbure de tantale Semicorex TaC est une solution de pointe conçue pour répondre aux exigences strictes de la fabrication de semi-conducteurs, en particulier au stade du traitement épitaxial (épi). Semicorex s'engage à fournir des produits de qualité à des prix compétitifs, nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine.

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Anneau de guidage revêtu de TaC

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Anneau de guidage revêtu Semicorex TaC, le summum de l'innovation dans les fours de croissance monocristallins SiC (carbure de silicium). Méticuleusement conçu pour répondre aux exigences rigoureuses de l'industrie des semi-conducteurs, cet anneau de guidage promet de redéfinir vos processus de croissance cristalline avec une précision et une fiabilité inégalées.

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