Le graphite de revêtement TaC est créé en recouvrant la surface d'un substrat en graphite de haute pureté d'une fine couche de carbure de tantale par un procédé exclusif de dépôt chimique en phase vapeur (CVD).
Le carbure de tantale (TaC) est un composé composé de tantale et de carbone. Il possède une conductivité électrique métallique et un point de fusion exceptionnellement élevé, ce qui en fait un matériau céramique réfractaire connu pour sa solidité, sa dureté et sa résistance à la chaleur et à l'usure. Le point de fusion des carbures de tantale culmine à environ 3 880 °C en fonction de la pureté et possède l'un des points de fusion les plus élevés parmi les composés binaires. Cela en fait une alternative intéressante lorsque les exigences de température plus élevées dépassent les capacités de performance utilisées dans les processus épitaxiaux de semi-conducteurs composés tels que MOCVD et LPE.
Données matérielles du revêtement Semicorex TaC
Projets |
Paramètres |
Densité |
14,3 (g/cm³) |
Émissivité |
0.3 |
ETC (×10-6/K) |
6.3 |
Dureté (HK) |
2000 |
Résistance (Ohm-cm) |
1×10-5 |
Stabilité thermique |
<2500℃ |
Changement de dimension du graphite |
-10 ~ -20um (valeur de référence) |
Épaisseur du revêtement |
Valeur typique ≥20um (35um ± 10um) |
|
|
Les valeurs ci-dessus sont typiques |
|
Le mandrin en graphite à revêtement Semicorex TaC est un composant haute performance conçu pour la manipulation précise des plaquettes et les processus à haute température dans la fabrication de semi-conducteurs. Choisissez Semicorex pour ses produits innovants et durables qui garantissent des performances et une longévité optimales dans les applications exigeantes des semi-conducteurs.*
En savoir plusenvoyer une demandeL'anneau Semicorex TaC est un composant haute performance conçu pour la croissance de monocristaux de SiC, garantissant une distribution optimale du flux de gaz et un contrôle de la température. Choisissez Semicorex pour notre expertise en matériaux avancés et en ingénierie de précision, fournissant des solutions durables et fiables qui améliorent l'efficacité et la qualité de vos processus de semi-conducteurs.*
En savoir plusenvoyer une demandeLa pièce en carbure de tantale Semicorex est un composant en graphite à revêtement TaC conçu pour une utilisation haute performance dans les applications de croissance cristalline de carbure de silicium (SiC), offrant une excellente résistance à la température et aux produits chimiques. Choisissez Semicorex pour des composants fiables et de haute qualité qui améliorent la qualité des cristaux et l'efficacité de la production dans la fabrication de semi-conducteurs.*
En savoir plusenvoyer une demandeLes anneaux en carbure de tantale Semicorex sont des composants essentiels utilisés dans les processus avancés de fabrication de semi-conducteurs. Connus pour leur dureté exceptionnelle, leur point de fusion élevé et leur inertie chimique, chez Semicorex, nous nous engageons à fournir des produits qui répondent aux normes de qualité et de performance les plus élevées, garantissant que nos clients restent à la pointe de l'innovation dans l'industrie des semi-conducteurs.*
En savoir plusenvoyer une demandeLe suscepteur de plaquette de revêtement Semicorex TaC est un plateau en graphite recouvert de carbure de tantale, utilisé dans la croissance épitaxiale du carbure de silicium pour améliorer la qualité et les performances des plaquettes. Choisissez Semicorex pour sa technologie de revêtement avancée et ses solutions durables qui garantissent des résultats d'épitaxie SiC supérieurs et une durée de vie prolongée du suscepteur.*
En savoir plusenvoyer une demandeLes anneaux de guidage de revêtement TaC sont des anneaux en graphite avec un revêtement en carbure de tantale, conçus pour être utilisés dans les fours de croissance de cristaux de carbure de silicium afin d'améliorer la qualité des cristaux. Choisissez Semicorex pour sa technologie de revêtement avancée, garantissant une durabilité supérieure, une stabilité thermique et des performances de croissance cristalline optimisées.*
En savoir plusenvoyer une demande