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Le graphite de revêtement TaC est créé en recouvrant la surface d'un substrat en graphite de haute pureté d'une fine couche de carbure de tantale par un procédé exclusif de dépôt chimique en phase vapeur (CVD).



Le carbure de tantale (TaC) est un composé composé de tantale et de carbone. Il possède une conductivité électrique métallique et un point de fusion exceptionnellement élevé, ce qui en fait un matériau céramique réfractaire connu pour sa solidité, sa dureté et sa résistance à la chaleur et à l'usure. Le point de fusion des carbures de tantale culmine à environ 3 880 °C en fonction de la pureté et possède l'un des points de fusion les plus élevés parmi les composés binaires. Cela en fait une alternative intéressante lorsque les exigences de température plus élevées dépassent les capacités de performance utilisées dans les processus épitaxiaux de semi-conducteurs composés tels que MOCVD et LPE.


Données matérielles du revêtement Semicorex TaC

Projets

Paramètres

Densité

14,3 (g/cm³)

Émissivité

0.3

ETC (×10-6/K)

6.3

Dureté (HK)

2000

Résistance (Ohm-cm)

1×10-5

Stabilité thermique

<2500℃

Changement de dimension du graphite

-10 ~ -20um (valeur de référence)

Épaisseur du revêtement

Valeur typique ≥20um (35um ± 10um)



Les valeurs ci-dessus sont typiques




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Mandrin en graphite avec revêtement TaC

Mandrin en graphite avec revêtement TaC

Le mandrin en graphite à revêtement Semicorex TaC est un composant haute performance conçu pour la manipulation précise des plaquettes et les processus à haute température dans la fabrication de semi-conducteurs. Choisissez Semicorex pour ses produits innovants et durables qui garantissent des performances et une longévité optimales dans les applications exigeantes des semi-conducteurs.*

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Anneau TaC

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Pièce en carbure de tantale

Pièce en carbure de tantale

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Anneaux en carbure de tantale

Anneaux en carbure de tantale

Les anneaux en carbure de tantale Semicorex sont des composants essentiels utilisés dans les processus avancés de fabrication de semi-conducteurs. Connus pour leur dureté exceptionnelle, leur point de fusion élevé et leur inertie chimique, chez Semicorex, nous nous engageons à fournir des produits qui répondent aux normes de qualité et de performance les plus élevées, garantissant que nos clients restent à la pointe de l'innovation dans l'industrie des semi-conducteurs.*

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Suscepteur de plaquette de revêtement TaC

Suscepteur de plaquette de revêtement TaC

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Anneaux de guidage de revêtement TaC

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Les anneaux de guidage de revêtement TaC sont des anneaux en graphite avec un revêtement en carbure de tantale, conçus pour être utilisés dans les fours de croissance de cristaux de carbure de silicium afin d'améliorer la qualité des cristaux. Choisissez Semicorex pour sa technologie de revêtement avancée, garantissant une durabilité supérieure, une stabilité thermique et des performances de croissance cristalline optimisées.*

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