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Le graphite de revêtement TaC est créé en recouvrant la surface d'un substrat en graphite de haute pureté d'une fine couche de carbure de tantale par un procédé exclusif de dépôt chimique en phase vapeur (CVD).



Le carbure de tantale (TaC) est un composé composé de tantale et de carbone. Il possède une conductivité électrique métallique et un point de fusion exceptionnellement élevé, ce qui en fait un matériau céramique réfractaire connu pour sa solidité, sa dureté et sa résistance à la chaleur et à l'usure. Le point de fusion des carbures de tantale culmine à environ 3 880 °C en fonction de la pureté et possède l'un des points de fusion les plus élevés parmi les composés binaires. Cela en fait une alternative intéressante lorsque les exigences de température plus élevées dépassent les capacités de performance utilisées dans les processus épitaxiaux de semi-conducteurs composés tels que MOCVD et LPE.


Données matérielles du revêtement Semicorex TaC

Projets

Paramètres

Densité

14,3 (g/cm³)

Émissivité

0.3

ETC (×10-6/K)

6.3

Dureté (HK)

2000

Résistance (Ohm-cm)

1×10-5

Stabilité thermique

<2500℃

Changement de dimension du graphite

-10 ~ -20um (valeur de référence)

Épaisseur du revêtement

Valeur typique ≥20um (35um ± 10um)



Les valeurs ci-dessus sont typiques




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Suscepteur MOCVD avec revêtement TaC

Suscepteur MOCVD avec revêtement TaC

Le suscepteur Semicorex MOCVD avec revêtement TaC est un composant de pointe méticuleusement conçu pour des performances optimales dans les processus d'épitaxie de semi-conducteurs au sein des systèmes MOCVD. Semicorex est inébranlable dans son engagement à fournir des produits de qualité supérieure à des prix très compétitifs. Nous sommes impatients d’établir un partenariat durable avec vous en Chine.*

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Anneau avec revêtement CVD TaC

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Suscepteur planétaire revêtu de TaC

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Anneau de guidage de revêtement en carbure de tantale

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Creuset en graphite à revêtement en carbure de tantale

Creuset en graphite à revêtement en carbure de tantale

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Creuset en carbure de tantale

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Le creuset en carbure de tantale Semicorex est un composant crucial dans l'industrie des semi-conducteurs, spécialement conçu pour la croissance des cristaux de carbure de silicium (SiC). Semicorex s'engage à fournir des produits de qualité à des prix compétitifs, nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine*.

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Semicorex produit Revêtement TaC depuis de nombreuses années et est l'un des fabricants et fournisseurs professionnels de Revêtement TaC en Chine. Une fois que vous avez acheté nos produits avancés et durables qui fournissent un emballage en vrac, nous garantissons la grande quantité dans une livraison rapide. Au fil des ans, nous avons fourni à nos clients un service personnalisé. Les clients sont satisfaits de nos produits et de notre excellent service. Nous sommes sincèrement impatients de devenir votre partenaire commercial fiable à long terme ! Bienvenue pour acheter des produits de notre usine.
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