Bagues de revêtement de 8 pouces

Les anneaux de revêtement de 8 pouces semicoréx sont du matériel de traitement de semi-conducteur de pointe destiné à sécuriser et à soutenir les plaquettes de silicium en toute sécurité grâce à des processus thermiques, de gravure et de dépôt importants. Construit à partir de graphite de haute qualité avec un denserevêtement en carbure de silicium (sic)Pour plus de résistance, l'anneau du porte-plaquette donne une stabilité thermique, une résistance chimique et une résistance mécaniques supérieures, ce qui le rend idéal pour une utilisation dans des environnements à haute température et corrosifs tels que les CVD (dépôt de vapeur chimique), PECVD et les systèmes d'épitaxie.

Caractéristiques clés:

Composition du matériau:

Le substrat estgraphite de haute pureté, qui est sélectionné pour une conductivité thermique élevée et une homogénéité structurelle. Haute densité et uniformerevêtement de film en carbure de silicium (sic)est appliqué à la surface, présentant une résistance élevée à l'oxydation et à l'attaque chimique même à des températures élevées supérieures à 1000 ° C. Le mélange contient une durée de conservation de longue durée et un risque minimal de contamination des plaquettes.

Positionnement de la plaquette sécurisée

Conçu en particulier pour contenir des plaquettes de 8 pouces (200 mm), l'anneau de plaquette contient des tolérances précises et une géométrie intérieure conçue de manière optimale pour saisir en toute sécurité la tranche. L'anneau reste stable en position pendant le cycle thermique et le flux de gaz, minimisant le micro-mouvement qui pourrait entraîner une création de particules ou une rupture de la plaquette.

Uniformité thermique:

La conductivité thermique inhérente du substrat de graphite et la stabilité du revêtement SIC assurent un transfert de chaleur cohérent sur la surface de la plaquette. Il en résulte des résultats de processus cohérents, une réduction de la contrainte thermique et un meilleur rendement de dispositif.

Résistance chimique et plasmatique:

La surface SIC protège le noyau du graphite des plasmas et des gaz de processus sévères, offrant une résistance aux cycles de processus répétés. L'inertie chimique est particulièrement bénéfique dans les environnements de gravure ou de gaz réactifs contenant des halogènes corrosifs.

Personnalisation disponible:

Les anneaux de revêtement de 8 pouces peuvent être conçus sur mesure pour répondre aux exigences spécifiques de l'équipement ou du processus, à savoir les variations de la conception du support des bords, l'emplacement des créneaux et la configuration de montage. Nos concepteurs travaillent avec des OEM et des FAB pour fournir les performances les plus élevées possibles pour chaque utilisation.

Applications:

• LPCVD / PECVD / APCVD
• Processus de croissance épitaxiale
• Fours de diffusion
• Recuit à haute température
• Autres systèmes de traitement thermique semi-conducteur

Tous les anneaux de revêtement de 8 pouces subissent une inspection rigoureuse comme la vérification de la précision des dimensions, le test d'adhésion de revêtement et la qualification de cyclisme thermique. Notre technologie de fabrication avancée assure une épaisseur de revêtement SIC uniforme et une meilleure finition de surface pour répondre aux fortes demandes de l'industrie des semi-conducteurs.

Les anneaux de revêtement de 8 pouces semicoréx (graphite enduit de SiC) sont un équipement essentiel pour la production de semi-conducteurs de nouvelle génération, fournissant une précision mécanique, une durabilité des matériaux et une stabilité chimique. Des améliorations de l'équipement de processus à la construction de plates-formes de plaquettes de nouvelle génération, ce produit offre la fiabilité et les performances nécessaires pour permettre les environnements de production exigeants d'aujourd'hui.