Mandrin en céramique de nitrure d'aluminium

Le mandrin en céramique de nitrure d'aluminium représente une solution de pointe pour le traitement des plaquettes de semi-conducteurs, spécialement conçue pour maintenir solidement les plaquettes en place pendant les différentes étapes de fabrication. Fonctionnant comme un mandrin électrostatique (ESC), ce dispositif innovant exploite les propriétés exceptionnelles de la céramique de nitrure d'aluminium pour garantir une rétention précise et fiable des plaquettes.

Le mandrin en céramique de nitrure d'aluminium Semicorex utilise des forces électrostatiques pour maintenir fermement la plaquette sur sa surface. Ceci est réalisé grâce à un plateau méticuleusement conçu comportant des électrodes intégrées, stratégiquement polarisées avec une haute tension. En conséquence, une force de maintien électrostatique est établie entre la platine et la tranche, immobilisant efficacement la tranche en place tout au long des étapes de traitement.

L'une des caractéristiques remarquables du mandrin en céramique de nitrure d'aluminium est sa remarquable combinaison de haute conductivité thermique et de propriétés d'isolation. Ce mélange unique de caractéristiques en fait un choix de matériau idéal pour les applications ESC. La conductivité thermique élevée garantit une dissipation thermique efficace, essentielle pour maintenir une répartition uniforme de la température sur la tranche pendant le traitement. Simultanément, ses propriétés d'isolation exceptionnelles assurent une isolation électrique entre le mandrin et la plaquette, minimisant ainsi le risque d'interférence électrique ou d'endommagement des composants semi-conducteurs sensibles.

Le mandrin en céramique de nitrure d'aluminium offre plusieurs avantages par rapport aux matériaux de mandrin traditionnels. Sa construction robuste garantit une durabilité à long terme, capable de résister aux exigences rigoureuses des environnements de fabrication de semi-conducteurs. De plus, sa compatibilité avec les processus à haute température et sa résistance à la dilatation thermique en font un outil indispensable pour obtenir des résultats de traitement de plaquettes cohérents et de haute qualité.