Radiateurs au nitrure en aluminium

Les radiateurs de nitrure en aluminium semicoréx sont des éléments de chauffage en céramique de pointe conçus pour des applications qui exigent une conductivité thermique élevée, une isolation électrique et une durabilité exceptionnelle. Inigmées à partir de céramique de nitrure d'aluminium, ces radiateurs fournissent un chauffage rapide et uniforme, ce qui les rend idéaux pour des environnements de haute précision tels que le traitement des semi-conducteurs, les diagnostics médicaux et l'instrumentation analytique avancée.

Les radiateurs au nitrure en aluminium sont des composants clés de l'équipement de dépôt à couches minces semi-conducteur. Ils sont directement appliqués à la chambre de processus et en contact direct avec la tranche. Ils portent non seulement la tranche, mais s'assurent également que la tranche obtient un 

Température de processus stable et uniforme. Cette caractéristique est essentielle pour les réactions de haute précision sur la surface de la plaquette et la génération de films minces uniformes.

En règle générale, les radiateurs au nitrure en aluminium comprennent un substrat en céramique avec une surface de chargement de plaquette et un corps de soutien cylindrique qui le soutient à l'arrière. En plus d'un circuit de chauffage résistif pour le chauffage, une électrode RF et une électrode de mandrin électrostatique et d'autres conducteurs sont également fournis à l'intérieur ou à la surface du substrat en céramique.

L'équipement de dépôt à couches minces utilise généralement des matériaux en céramique basés surnitrure d'aluminium (ALN)car il implique un environnement à haute température. La raison pour laquelle les radiateurs au nitrure en aluminium sont favorisés dans la fabrication de semi-conducteurs sont principalement dus à leurs propriétés physiques et chimiques uniques. Le nitrure d'aluminium a non seulement une conductivité thermique élevée et peut réaliser un chauffage et un refroidissement rapides en peu de temps, mais a également une bonne isolation électrique et une résistance mécanique, garantissant la stabilité et la fiabilité du radiateur. De plus, le coefficient de dilatation thermique du nitrure d'aluminium est similaire à celui du silicium, ce qui contribue à réduire l'impact de la contrainte thermique sur la tranche et à améliorer le rendement du processus.

En général,radiateurs en céramiquesont principalement utilisés dans l'équipement de dépôt à couches minces. Puisqu'il implique des processus à haute température, le matériau en céramique utilisé est principalement du nitrure d'aluminium; Les mandrins électrostatiques sont principalement utilisés dans l'équipement de gravure, et le matériau en céramique utilisé est principalement de l'oxyde d'aluminium. Avec le développement de la technologie des semi-conducteurs, il existe un chevauchement entre les radiateurs en céramique et les enfants électrostatiques. Par exemple, les radiateurs en céramique utilisés dans l'équipement de dépôt à couches minces sont équipés de mandrins électrostatiques, qui ont les doubles fonctions de chauffage à haute température et d'adsorption électrostatique. Les enfants électrostatiques utilisés dans les équipements de gravure commencent également à impliquer des processus à haute température, et le matériau en céramique doit être passé de l'oxyde d'aluminium au nitrure d'aluminium.