Revêtement SiC haute température pour chambres de gravure au plasma

Lorsqu'il s'agit de processus de manipulation de plaquettes tels que l'épitaxie et le MOCVD, le revêtement SiC haute température de Semicorex pour les chambres de gravure au plasma est le premier choix. Nos supports offrent une résistance à la chaleur supérieure, une uniformité thermique uniforme et une résistance chimique durable grâce à notre revêtement en cristal SiC fin.

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Description du produit

Chez Semicorex, nous comprenons l'importance d'un équipement de manipulation de plaquettes de haute qualité. C'est pourquoi notre revêtement SiC haute température pour chambres de gravure au plasma est spécialement conçu pour les environnements de nettoyage chimique agressifs et à haute température. Nos transporteurs fournissent des profils thermiques uniformes, des modèles d'écoulement de gaz laminaire et empêchent la contamination ou la diffusion des impuretés.
Contactez-nous dès aujourd'hui pour en savoir plus sur notre revêtement SiC haute température pour chambres de gravure au plasma.

Paramètres du revêtement SiC haute température pour les chambres de gravure au plasma

Principales caractéristiques du revêtement CVD-SIC
Propriétés SiC-CVD
Structure en cristal	Phase β FCC
Densité	g/cm³	3.21
Dureté	Dureté Vickers	2500
Taille d'un grain	μm	2~10
Pureté chimique	%	99.99995
Capacité thermique	J·kg-1 ·K-1	640
Température de sublimation	℃	2700
Force Felexurale	MPa (RT 4 points)	415
Module de Young	Gpa (pli 4pt, 1300â)	430
Dilatation Thermique (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Conductivité thermique	(W/mK)	300

Caractéristiques du revêtement SiC haute température pour les chambres de gravure au plasma

- Éviter le décollement et assurer le revêtement sur toutes les surfaces

Résistance à l'oxydation à haute température : Stable à haute température jusqu'à 1600°C

Haute pureté : fabriqué par dépôt chimique en phase vapeur CVD dans des conditions de chloration à haute température.

Résistance à la corrosion : dureté élevée, surface dense et particules fines.

Résistance à la corrosion : acides, alcalis, sels et réactifs organiques.

- Obtenez le meilleur schéma d'écoulement de gaz laminaire

- Garantir l'uniformité du profil thermique

- Empêcher toute contamination ou diffusion d'impuretés

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