Revêtement SiC haute température pour chambres de gravure au plasma

Lorsqu'il s'agit de processus de manipulation de plaquettes tels que l'épitaxie et le MOCVD, le revêtement SiC haute température de Semicorex pour les chambres de gravure au plasma est le premier choix. Nos supports offrent une résistance thermique supérieure, une uniformité thermique uniforme et une résistance chimique durable grâce à notre fin revêtement cristallin SiC.

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Description du produit

Chez Semicorex, nous comprenons l'importance d'un équipement de manipulation de plaquettes de haute qualité. C'est pourquoi notre revêtement SiC haute température pour chambres de gravure plasma est conçu spécifiquement pour les environnements de nettoyage chimique difficiles et à haute température. Nos transporteurs fournissent des profils thermiques uniformes, des modèles d'écoulement de gaz laminaires et empêchent la contamination ou la diffusion d'impuretés.
Contactez-nous dès aujourd'hui pour en savoir plus sur notre revêtement SiC haute température pour chambres de gravure plasma.

Paramètres du revêtement SiC haute température pour les chambres de gravure au plasma

Principales spécifications du revêtement CVD-SIC
Propriétés SiC-CVD
Structure cristalline	Phase β du FCC
Densité	g/cm³	3.21
Dureté	Dureté Vickers	2500
Taille des grains	µm	2~10
Pureté chimique	%	99.99995
Capacité thermique	J kg-1 K-1	640
Température de sublimation	℃	2700
Force de flexion	MPa (RT 4 points)	415
Module de Young	Gpa (courbure 4pt, 1300℃)	430
Expansion thermique (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Conductivité thermique	(W/mK)	300

Caractéristiques du revêtement SiC haute température pour les chambres de gravure au plasma

- Éviter de se décoller et assurer un revêtement sur toutes les surfaces

Résistance à l'oxydation à haute température : Stable à haute température jusqu'à 1600°C

Haute pureté : fabriqué par dépôt chimique en phase vapeur CVD dans des conditions de chloration à haute température.

Résistance à la corrosion : dureté élevée, surface dense et particules fines.

Résistance à la corrosion : acides, alcalis, sels et réactifs organiques.

- Obtenez le meilleur modèle de flux de gaz laminaire

- Garantir la régularité du profil thermique

- Empêcher toute contamination ou diffusion d'impuretés

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